[发明专利]TEM样品安放布局

权利要求书

1.一种用于在带电粒子束设备中获取样品的正交图像的方法，包括：

将包括相互不平行的三个正交面的样品连接到可旋转样品支撑装置；

把可旋转样品支撑装置旋转到多个角度，使得对于所述多个角度中的每一个，所述三个正交面中的不同面被暴露于并且垂直于由带电粒子束设备所生成的电子束；

在所述多个角度的每个角度，对来自所述电子束的透射穿过所述三个正交面中每一个面的电子进行探测；以及，

根据所探测的在所述三个正交面中每一个面透射穿过所述样品的电子生成所述样品的三个正交图像。

2.根据权利要求1所述的方法，其中将可旋转样品支撑装置旋转到多个角度包括将可旋转样品支撑装置旋转到选自由如下各项构成的组的至少两个角度：零度、+/-120度、和240度。

3.根据权利要求1所述的方法，其中将包括相互不平行的三个正交面的样品连接到可旋转样品支撑装置包括将包含立方体感兴趣区域的圆柱连接到可旋转样品支撑装置，使得所述圆柱的轴穿过立方体感兴趣区域的完全相对的顶点，所述立方体感兴趣区域包括所述三个正交面。

4.根据权利要求3所述的方法，将所述圆柱连接到可旋转样品支撑装置包括将所述圆柱焊接到可旋转样品支撑装置。

5.根据权利要求1所述的方法，其中将包括相互不平行的三个正交面的样品连接到可旋转样品支撑装置包括：

将立方体样品安放在针上使得所述针的轴穿过立方体样品的完全相对的顶点；和

将所述针连接到可旋转样品支撑装置。

6.根据权利要求5所述的方法，其中将所述针连接到可旋转样品支撑装置包括将所述针焊接到可旋转样品支撑装置。

7.根据权利要求5所述的方法，其中将所述立方体样品安放在所述针上进一步包括：

在带电粒子束设备中通过环形聚焦离子束研磨来制造所述针；

在带电粒子束设备中使用聚焦离子束由较大的样品制造所述立方体样品；

将所述针焊接到所述立方体样品使得所述针的轴穿过所述立方体样品的完全相对的顶点；以及

从较大的样品分离安放到所述针上的所述立方体样品。

8.根据权利要求1所述的方法，其中可旋转样品支撑装置以倾斜的角度穿过带电粒子束设备中的壁。

9.根据权利要求1所述的方法，其中可旋转样品支撑装置通过齿轮以倾斜的角度与可旋转臂连接，并且可旋转臂以直角穿过带电粒子束设备中的壁。

10.根据权利要求9所述的方法，其中将可旋转样品支撑装置旋转到多个角度包括：将可旋转臂旋转到多个角度，以使得将可旋转臂到多个角度的旋转通过齿轮传递到可旋转样品支撑装置到多个角度的旋转。

11.根据权利要求9所述的方法，其中齿轮是斜交锥齿轮或交叉轴螺旋形齿轮中的至少一个。

12.根据权利要求1所述的方法，其中：

所述样品是立方体样品；并且

立方体样品被安放在连接到所述可旋转样品支撑装置的针上使得所述针的轴穿过立方体样品的完全相对的顶点。

13.一种用于透射电子显微镜的样品组件，在透射电子显微镜中利用电子束进行多向观察，所述样品组件包括：

具有至少三个相互不平行的观察面的样品，与每个观察面正交的样品厚度小于200nm；以及

样品支撑设备，包括样品所安放到的针，所述针可以围绕多于一个轴旋转，因此所述针能够使至少三个所述观察面定向为垂直于透射电子显微镜的电子束。