[发明专利]分光模块

说明书

(本申请是申请日为2008年6月5日、申请号为200880000503.1、发明名称为“分光 模块”的专利申请的分案申请。)

技术领域

本发明涉及对光进行分光并进行检测的分光模块。

背景技术

现有的分光模块，已知有一种分光模块，其具备双凸透镜，即块状的支撑体，并且 在支撑体的一个凸面上设有衍射光栅等的分光部，在支撑体另一个凸面侧上，设有光电二 极管等的光检测元件(例如，参照专利文献1)。在这种分光模块中，从另一凸面侧入射的光 在分光部被分光，分光后的光在光检测元件被检测。

专利文献1：日本特开平第4-294223号公报

发明内容

然而，近年来，谋求分光模块的小型化，要求能够容易地大量生产。但是，在上述的 分光模块中，由于使用双凸透镜，即块状的支撑体，以作为本体部，因而难以小型化及大量 生产。

因此，本发明的目的在于，提供一种能够谋求小型化，并且能够容易地大量生产的 分光模块。

为了达到上述目的，本发明的分光模块的特征在于，具备：板状的本体部，使从一 个面入射的光透过；分光部，设在本体部的另一个面侧，对透过本体部的光进行分光，并向 一个面侧反射；以及光检测元件，设在一个面侧，检测被分光部分光并反射的光。

在该分光模块中，由于本体部为板状，因而能够通过本体部的薄型化来谋求小型 化。并且，由于本体部为板状，因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块。即，通过对作为 多个本体部的晶圆，以矩阵状设置分光部和光检测元件，并切割该晶圆，能够制造多个分光 模块。如此，能够容易地大量生产分光模块。

另外，在本发明的分光模块中，优选在一个面侧设有与光检测元件电连接的配线。 依照这种构成，不直接连接外部的配线和光检测元件，而能够经由设在本体部的配线将外 部的配线和光检测元件电连接。于是，在处理分光模块时和与外部装置连接时，抑制了局部 的应力施加于光检测元件，因而即使在谋求分光模块的小型化的情况下，也能够防止光检 测元件的剥离和分光模块的破损。另外，通过将光检测元件直接连接于设在本体部的配线， 能够缩短本体部与光检测元件的距离，因而能够防止被分光部分光并反射的光的衰减和杂 散光的入射。

另外，在本发明的分光模块中，优选在一个面和配线之间，设有吸收光的吸光层。 依照这种构成，能够防止被分光部分光并反射的光在配线和本体部之间漫反射，入射于光 检测元件。

另外，在本发明的分光模块中，优选吸光层的表面(配线侧的面)为粗糙面。依照这 种构成，能够进一步防止配线和本体部之间的漫反射光入射于光检测元件。

另外，在本发明的分光模块中，优选在一个面侧设有与配线电连接的柔性基板。如 果将柔性基板直接连接于光检测元件，则尤其在谋求分光模块的小型化的情况下，局部的 应力容易施加于光检测元件。但是，依照这种构成，由于经由设在本体部的配线将柔性基板 和光检测元件电连接，因而能够抑制应力施加于光检测元件。于是，即使在谋求分光模块的 小型化的情况下，也能够防止光检测元件的剥离和分光模块的破损。

另外，在本发明的分光模块中，优选本体部具有层叠的至少两片透光性板。依照这 种构成，通过将光检测元件安装于一个透光性板的工艺、将分光部安装于另一个透光性板 的工艺、以及将这些透光性板贴合的工艺，能够制造分光模块。即，例如不从晶圆的两面侧 进行将光检测元件和分光部安装于晶圆的工艺，而是能够分为仅从单面侧进行的工艺。于 是，能够使分光模块的制造工艺成为最适于晶圆工艺的工艺，能够更加容易地大量生产。

另外，在本发明的分光模块中，优选在相邻的透光性板彼此(层叠后的透光性板彼 此)之间的规定区域，设有吸收光的吸光膜。依照这种构成，能够用吸光膜来吸收在本体部 内行进的杂散光，因而能够减少入射于光检测元件的杂散光，能够减小噪声。

依照本发明，能够谋求分光模块的小型化，并且能够容易地大量生产分光模块。

附图说明

图1是第1实施方式的分光模块的平面图。

图2是沿着图1所示的II-II线的截面图。

图3是显示衍射光栅的形状的图，(a)显示闪耀光栅的形状，(b)显示二元光栅的形 状，(c)显示全息光栅的形状。

图4是显示制造透光性板时所使用的玻璃晶圆的图，(a)显示平面图，(b)显示侧面 图。