[发明专利]化学镀银制作氮化镓基发光二极管反射镜金属层的方法

权利要求书

1.一种化学镀银制作氮化镓基发光二极管反射镜金属层的方法，采用化学镀的方式在LED芯片结构中制作一层银金属，形成银反射镜金属层，具体制作过程包括：

步骤1：选择一外延层结构，该外延层结构包括蓝宝石衬底和制作在其上的LED外延层；

步骤2：采用光刻的方法，在LED外延层上的LED外延结构上形成光刻胶图形，使光刻胶覆盖并保护无需镀银的LED外延结构；

步骤3：将蓝宝石衬底的裸露面进行保护，把外延层结构放入两种预处理液中依次浸泡；

步骤4：将浸泡后的外延层结构放入反应皿，倒入化学镀银溶液进行化学镀银；

步骤5：将镀银后的外延层结构冲洗、吹干；

步骤6：剥离残余的光刻胶，在LED外延结构2上形成具有图形的镀银金属反射镜，完成制备。

2.根据权利要求1所述的化学镀银制作氮化镓基发光二极管反射镜金属层的方法，其中所述的化学镀银溶液包括银盐液和还原液。

3.根据权利要求2所述的化学镀银制作氮化镓基发光二极管反射镜金属层的方法，其中银盐液的成分为AgNO₃、氨水、NaOH和H₂O，还原液的成分为葡萄糖、酒石酸和H₂O。

4.根据权利要求3所述的化学镀银制作氮化镓基发光二极管反射镜金属层的方法，其中AgNO₃的质量为1-3.5g、氨水的质量为1-10ml、NaOH的质量为0.5-2.5g/100ml，葡萄糖的质量为10-45g、酒石酸1-4g、其余为H₂O，银盐液与还原液按3∶2配比混合，反应时间为5-10分钟。

5.根据权利要求1所述的化学镀银制作氮化镓基发光二极管反射镜金属层的方法，其中使用的两种预处理液为SnCl₂和PdCl₂，预处理时间分别为0.5-1小时。

6.根据权利要求5所述的化学镀银制作氮化镓基发光二极管反射镜金属层的方法，其中SnCl₂的质量为1-5g，PdCl₂的质量为0.05-0.125g，其余为H₂O。

7.根据权利要求1所述的化学镀银制作氮化镓基发光二极管反射镜金属层的方法，其中该化学镀银溶液的PH值范围为10-13、反应温度为室温。