[发明专利]封装结构及封装方法有效
申请号: | 201510552405.0 | 申请日: | 2015-09-02 |
公开(公告)号: | CN105118843B | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 王之奇;洪方圆 | 申请(专利权)人: | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 蔡杰赟;吴敏 |
地址: | 215021 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 结构 方法 | ||
本发明提供了一种封装结构和封装方法,所述封装结构包括:芯片单元,所述芯片单元的第一表面包括感应区域;上盖板,所述上盖板的第一表面具有支撑结构,所述上盖板覆盖所述芯片单元的第一表面,所述支撑结构位于所述上盖板和所述芯片单元之间,且所述感应区域位于所述支撑结构和所述芯片单元的第一表面围成的空腔之内;其中,所述上盖板具有预设厚度,使得从所述上盖板的侧壁反射的光线不能直接照射所述感应区域。本发明的封装结构和封装方法可以减少入射至所述感应区域的干扰光线。
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种封装结构和一种封装方法。
背景技术
传统技术上,IC芯片与外部电路的连接是通过金属引线键合(Wire Bonding)的方式实现。随着IC芯片特征尺寸的缩小和集成电路规模的扩大,引线键合技术不再适用。
晶圆级芯片封装(Wafer Level Chip size Packaging,WLCSP)技术是对整片晶圆进行封装测试后再切割得到单个成品芯片的技术,封装后的芯片尺寸与裸片一致。晶圆级芯片封装技术颠覆了传统封装如陶瓷无引线芯片载具(Ceramic Leadless ChipCarrier)、有机无引线芯片载具(Organic Leadless Chip Carrier)的模式,顺应了市场对微电子产品日益轻、小、短、薄化和低价化要求。经晶圆级芯片封装技术封装后的芯片达到了高度微型化,芯片成本随着芯片的减小和晶圆尺寸的增大而显著降低。晶圆级芯片封装技术是可以将IC设计、晶圆制造、封装测试、整合为一体的技术,是当前封装领域的热点和发展趋势。
影像传感器芯片作为一种可以将光学图像转换成电子信号的芯片,其具有感应区域。当利用现有的晶圆级芯片封装技术对影像传感器芯片进行封装时,为了在封装过程中保护上述的感应区域不受损伤和污染,通常会在感应区域位置形成一个上盖基板。所述上盖基板在完成晶圆级芯片封装后,可以继续保留,在影像传感器芯片的使用过程中继续保护感应区域免受损伤和污染。
但是,采用上述晶圆级芯片封装技术形成的影像传感器性能不佳。
发明内容
本发明解决的问题是现有技术形成的影像传感器性能不佳。
为解决上述问题,本发明实施例提供了一种封装结构。所述封装结构包括:芯片单元,所述芯片单元的第一表面包括感应区域;上盖板,所述上盖板的第一表面具有支撑结构,所述上盖板覆盖所述芯片单元的第一表面,所述支撑结构位于所述上盖板和所述芯片单元之间,且所述感应区域位于所述支撑结构和所述芯片单元的第一表面围成的空腔之内;其中,所述上盖板具有预设厚度,使得从所述上盖板的侧壁反射的光线不能直接照射所述感应区域。
可选地,所述预设厚度为50μm~200μm。
可选地,所述预设厚度为100μm。
可选地,所述预设厚度基于所述感应区域的宽度,所述支撑结构的宽度和高度确定。
可选地,所述上盖板的材料为透光材料。
可选地,所述芯片单元还包括:位于所述感应区域外的焊垫;从所述芯片单元的与第一表面相对的第二表面贯穿所述芯片单元的通孔,所述通孔暴露出所述焊垫;覆盖所述芯片单元第二表面和所述通孔侧壁表面的绝缘层;位于所述绝缘层表面且与所述焊垫电学连接的金属层;位于所述金属层和所述绝缘层表面的阻焊层,所述阻焊层具有暴露出部分所述金属层的开孔;填充所述开孔,并暴露在所述阻焊层表面之外的外接凸起。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的