[发明专利]在透射带电粒子显微镜中执行光谱术的方法

权利要求书

1.一种在透射带电粒子显微镜中执行光谱术的方法，所述透射带电粒子显微镜包括：

样本夹持器，用于夹持样本；

源，用于产生带电粒子的射束；

照明器，用于引导所述射束以便照射所述样本；

成像系统，用于将透射穿过所述样本的带电粒子的通量引导到光谱学装置上，所述光谱学装置包括用于使所述通量分散到光谱子射束的能量分辨阵列中的分散设备，

所述方法包括：

使用可调光圈设备来容许所述阵列的第一部分到达检测器，同时阻挡所述阵列的第二部分；

在所述光圈设备上游在所述通量中提供辐射传感器；

使用所述传感器来在所述阵列的所述第二部分的所选区域中执行局部化辐射感测，同时通过所述检测器检测所述第一部分；以及

使用来自所述传感器的感测结果来调整来自所述检测器的检测结果；

其中所述检测结果调整包括下述动作中的至少一个：

使用所述感测结果和所述检测结果作为对数学解卷积过程的输入来解卷积所述检测结果；

在所述检测结果中校正仪器相关的传递函数的贡献；

确定针对所述检测结果的绝对能量标度；

确定针对所述检测结果的绝对强度标度；

将所述感测结果用作对反馈环的输入以调整连接到所述源、照明器、成像系统和分散设备中至少一个的电源的输出；以及

将所述检测结果的累积强度与传感器结果的累积强度相比较以便得出样本的厚度值。

2.根据权利要求1所述的方法，其中：

所述光谱学装置是电子能量损失光谱术（EELS）设备；

所述第一部分包括EELS核心损失峰；

所述所选区域包括从包括EELS零损峰和EELS等离子体激元共振峰的组中选择的特征。

3.根据权利要求 1所述的方法，其中所述辐射传感器至少在与所述分散设备的分散方向平行的方向上是可移动的。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述可调光圈设备包括具有第一边沿的第一平板和具有第二边沿的第二平板，所述边沿跨越介入间隙彼此相对，至少所述第一平板被连接到致动器，所述致动器可以用来相对于所述第二平板移动所述第一平板以便调整所述间隙。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述传感器附接于所述第一平板的远离所述检测器的一侧且邻近于所述第一边沿。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述传感器被布置为在与所述分散设备的分散方向基本上垂直的横向方向上延伸。

7.一种透射带电粒子显微镜，包括：

样本夹持器，用于夹持样本；

源，用于产生带电粒子的射束；

照明器，用于引导所述射束以便照射所述样本；

成像系统，用于将透射穿过所述样本的带电粒子的通量引导到光谱学装置上，所述光谱学装置包括：

分散设备，用于使所述通量分散到光谱子射束的能量分辨阵列中；

检测器；

控制器，用于执行控制命令，

其中：

所述光谱学装置包括：

可调光圈设备，用以容许所述阵列的第一部分到达所述检测器，同时阻挡所述阵列的第二部分；

在所述光圈设备的上游提供的辐射传感器；

所述控制器被编程为执行下述动作：

使用所述传感器来在所述阵列的所述第二部分的所选区域中执行局部化辐射感测，同时通过所述检测器检测所述第一部分；

使用来自所述传感器的感测结果来调整来自所述检测器的检测结果；

其中被编程为调整来自所述检测器的所述检测结果的控制器包括被编程为执行下述动作中的至少一个的控制器：

使用所述感测结果和所述检测结果作为对数学解卷积过程的输入来解卷积所述检测结果；

在所述检测结果中校正仪器相关的传递函数的贡献；

确定针对所述检测结果的绝对能量标度；

确定针对所述检测结果的绝对强度标度；

将所述感测结果用作对反馈环的输入以调整连接到所述源、照明器、成像系统和分散设备中至少一个的电源的输出；以及

将所述检测结果的累积强度与传感器结果的累积强度相比较以便得出样本的厚度值。