[发明专利]打印头喷嘴形成

权利要求书

1.一种打印头本体，包括：

具有泵室的主要部分；和

连接到主要部分的由硅形成的喷嘴部分，该喷嘴部分具有喷嘴入口和喷嘴出口，其中喷嘴入口具有中心围绕中心轴的锥形壁，锥形壁引向喷嘴出口，喷嘴出口具有相对于喷嘴层的表面大约±1°之内的大致直的壁，喷嘴入口和喷嘴出口大致不具有与中心轴正交的任何表面。

2.如权利要求1的打印头本体，其中喷嘴出口具有大致圆形截面。

3.如权利要求1的打印头本体，其中喷嘴出口具有大致矩形截面。

4.如权利要求1的打印头本体，其中喷嘴部分大约等于或小于100微米厚。

5.如权利要求4的打印头本体，其中喷嘴部分大约等于或小于60微米。

6.一种流体喷射喷嘴层，包括：

包括硅的主体，所述主体包括具有锥形壁的凹部，其中凹部具有第一厚度；以及

出口，其中出口流体连通到凹部以形成通孔，出口的壁与凹部的锥形壁交叉，出口具有第二厚度，第一和第二厚度一起大约等于或小于60微米。

7.如权利要求6的流体喷射喷嘴层，其中出口具有大致直的壁。

8.如权利要求6的流体喷射喷嘴层，其中出口具有大致圆形截面。

9.如权利要求6的流体喷射喷嘴层，其中出口具有大致矩形截面。

10.如权利要求6的流体喷射喷嘴层，其中出口具有在±1°内的大致直的壁。

11.一种流体喷射装置，包括：

在硅半导体喷嘴层中的通道；和

具有腔室的硅半导体基板，基板固定至喷嘴层的第一表面，使得腔室通过通道与大气流体连通，

其中半导体喷嘴层大约等于或小于60微米厚。

12.如权利要求11的流体喷射装置，其中通道具有入口和出口，入口具有中心围绕中心轴的锥形壁，锥形壁引向出口，出口具有大致直的壁。

13.如权利要求12的流体喷射装置，其中出口具有围绕中心轴的±1°之内的大致直的壁。

14.一种打印头本体，包括：

具有泵室的主要部分；和

连接到主要部分的喷嘴部分，喷嘴部分具有大约等于或小于60微米的厚度且由硅形成，该喷嘴部分具有喷嘴入口和喷嘴出口，其中喷嘴入口具有中心围绕中心轴的锥形壁，锥形壁引向喷嘴出口，喷嘴出口具有大致直的壁，喷嘴入口和喷嘴出口大致不具有与中心轴正交的任何表面。

15.如权利要求14的打印头本体，其中喷嘴出口具有相对于喷嘴层的表面±1°之内的大致直的壁。

16.如权利要求14的打印头本体，其中喷嘴出口具有大致圆形截面，其中截面正交于中心轴。

17.如权利要求14的打印头本体，其中喷嘴出口具有大致矩形截面，其中截面正交于中心轴。