[发明专利]磁性退火装置

权利要求书

1.一种磁性退火装置，其用于在磁场中对多个基板进行退火，其中，

该磁性退火装置包括：

横长筒状的处理容器，其用于在容纳着所述多个基板的状态下进行磁性退火处理；

加热部件，其以从外部覆盖该处理容器的沿着长度方向延伸的面的至少一部分的方式设置；

磁体，其以进一步从外部覆盖该加热部件的方式设置；

基板保持工具，其能够在所述处理容器内保持所述多个基板；以及

遮热板，其位于所述加热部件和所述基板保持工具之间，以包围该基板保持工具的至少上表面和下表面的方式设置，用于反射来自所述加热部件的热。

2.根据权利要求1所述的磁性退火装置，其中，

所述遮热板还设置在不与所述加热部件相对的位置。

3.根据权利要求2所述的磁性退火装置，其中，

不与所述加热部件相对的位置是在与所述长度方向垂直的方向上具有面的端面。

4.根据权利要求1所述的磁性退火装置，其中，

所述基板保持工具能够在将所述多个基板垂直地立起的状态下沿着所述长度方向具有预定间隔地保持所述多个基板。

5.根据权利要求1所述的磁性退火装置，其中，

所述基板保持工具能够在将所述多个基板水平地载置的状态下以在铅垂方向上具有预定间隔地构成堆叠体的方式保持所述多个基板。

6.根据权利要求5所述的磁性退火装置，其中，

所述基板保持工具能够将多个所述堆叠体沿着所述长度方向并列保持。

7.根据权利要求5所述的磁性退火装置，其中，

所述加热部件覆盖所述处理容器的沿着长度方向延伸的面的整个面。

8.根据权利要求7所述的磁性退火装置，其中，

所述遮热板以隔着所述基板保持工具覆盖所述多个基板的最上表面和最下表面的方式设置。

9.根据权利要求1所述的磁性退火装置，其中，

所述遮热板由非磁性体的金属板构成。

10.根据权利要求9所述的磁性退火装置，其中，

一张所述遮热板包含多张所述非磁性体的金属板。

11.根据权利要求10所述的磁性退火装置，其中，

多张所述非磁性体的金属板隔着间隔件具有预定间隔地配置。

12.根据权利要求2所述的磁性退火装置，其中，

所述遮热板具有利用切口弯曲加工形成的百叶窗状的多个狭缝。

13.根据权利要求1所述的磁性退火装置，其中，

所述加热部件的所述长度方向的长度是所述基板保持工具的所述长度方向的长度的1.7倍以上。

14.根据权利要求1所述的磁性退火装置，其中，

所述处理容器具有圆筒形状。