[发明专利]大口径曲面光学元件微缺陷修复用可微调显微检测装置

权利要求书

1.大口径曲面光学元件微缺陷修复用可微调显微检测装置，其特征在于，该装置包括暗场检测单元、明场监测单元、光谱共焦精确测距单元和微系统安装板(1)；

所述光谱共焦精确测距单元包括光谱共焦测距仪(2)、光学X轴精密微调滑台(3)、测距过渡板(4)、测距V型块夹具(5)和测距夹紧装置(6)；

光学X轴精密微调滑台(3)的底面固定在微系统安装板(1)的上表面，光学X轴精密微调滑台(3)通过螺钉与测距过渡板(4)的下表面固定连接，测距过渡板(4)的上表面通过螺钉与测距V型块夹具(5)的底面固定连接，测距V型块夹具(5)的下部为梯形件，所述梯形件为倒置梯形，梯形件的侧面设有加强筋，测距V型块夹具(5)的上部为开口向上的V型件，V型件中部开有水平方向通透的十字槽，所述V型件与梯形件为一体件，测距V型块夹具(5)的上方设有测距夹紧装置(6)；

所述测距夹紧装置(6)与两根圆柱配合对放置在测距V型块夹具(5)V型槽内的光谱共焦测距仪(2)进行夹紧，两根圆柱的下端均固定在十字槽槽底，两根圆柱的上端均从测距夹紧装置(6)穿出；

明场监测单元包括光学YZ轴精密微调滑台(7)、明场监测过渡板(8)、明场监测V型块夹具(9)、明场监测面阵CCD(10)和明场夹紧装置(11)；

光学YZ轴精密微调滑台(7)的底面固定在微系统安装板(1)的上表面，光学YZ轴精密微调滑台(7)通过螺钉与明场监测过渡板(8)的下表面固定连接，明场监测过渡板(8)的上表面通过螺钉与明场监测V型块夹具(9)的底面固定连接，明场监测V型块夹具(9)的下部为梯形件，梯形件的两个侧面设有加强筋，明场监测V型块夹具(9)的上部为开口向上的V型件，V型件中部开有水平通透的十字槽，所述V型件与梯形件为一体件，明场监测V型块夹具(9)的上方设有明场夹紧装置(11)；

所述明场夹紧装置(11)与两根圆柱配合对放置在明场监测V型块夹具(9)V型槽内的明场监测面阵CCD(10)进行夹紧，两根圆柱的下端均设置在十字槽槽底，两根圆柱的上端均从明场夹紧装置(11)穿出；

暗场检测单元包括光学XZ轴精密微调滑台(12)、暗场检测过渡板(13)、暗场检测V型块夹具(14)、暗场检测线阵CCD(15)、暗场光源(16)和暗场夹紧装置(17)；

光学XZ轴精密微调滑台(12)的底面固定在微系统安装板(1)的上表面，光学XZ轴精密微调滑台(12)通过螺钉与暗场检测过渡板(13)的下表面固定连接，暗场检测过渡板(13)的上表面通过螺钉与暗场检测V型块夹具(14)的底面固定连接，暗场检测V型块夹具(14)的下部为梯形件，梯形件的两个侧面设有加强筋，暗场检测V型块夹具(14)的上部为开口向上的V型件，V型件中部开有水平通透的十字槽，所述V型件与梯形件为一体件，暗场检测V型块夹具(14)的上方设有暗场夹紧装置(17)，所述暗场夹紧装置(17)与两根圆柱配合对放置在暗场检测V型块夹具(14)V型槽内的暗场检测线阵CCD(15)进行夹紧，两根圆柱的下端均设置在十字槽槽底，两根圆柱的上端均从暗场夹紧装置(17)穿出；

暗场光源(16)设置在暗场检测单元和明场监测单元之间，暗场光源(16)的轴线方向与暗场检测线阵CCD(15)的轴线成M度夹角，暗场光源(16)的光线射向暗场检测线阵CCD(15)的焦平面，且位于暗场检测线阵CCD(15)所检测的视野内，所述M小于90度。