[发明专利]显影方法和显影装置

权利要求书

1.一种显影方法，其特征在于，包括：

将曝光后的基板保持于可旋转的基板保持部的步骤；

显影液展开步骤，其包括：从第一显影液喷嘴的排出口排出显影液，在所述基板保持部所保持的基板的表面上形成显影液的积液的步骤，其中，所述第一显影液喷嘴包括具有被设置成与所述基板的表面相对的接触部的喷嘴，所述接触部比所述基板的表面小；和接着在所述接触部与所述积液接触的状态下通过将排出显影液的所述第一显影液喷嘴从正在旋转的基板的中央部和周缘部的一方侧移动到所述中央部和所述周缘部的另一方侧而使所述显影液的积液扩展至基板的整个表面的步骤；

显影液供给步骤，在使基板旋转的状态下从第二显影液喷嘴向基板的表面供给显影液，从而使由所述显影液展开步骤进行的所述基板的面内的显影的进展程度的分布均匀，其中所述显影液供给步骤是对与其它区域相比显影不足的区域供给显影液来加速显影不足的区域中的显影的显影调整步骤；和

在所述显影液展开步骤与所述显影液供给步骤之间进行的、将所述基板的表面上的显影液除去的步骤，

所述第一显影液喷嘴和所述第二显影液喷嘴分别由单独的喷嘴构成。

2.如权利要求1所述的显影方法，其特征在于：

所述显影液展开步骤在显影调整步骤之前实施。

3.如权利要求1所述的显影方法，其特征在于：

使所述显影液的积液扩展的步骤将所述第一显影液喷嘴从正在旋转的基板的中央部移动到周缘部，并且

所述显影调整步骤包括一边从所述第二显影液喷嘴排出显影液一边使显影液的供给位置从基板的中央部和周缘部的一方移动到所述中央部和所述周缘部的另一方侧的步骤。

4.如权利要求1所述的显影方法，其特征在于：

所述显影调整步骤包括从所述第二显影液喷嘴将显影液局部地排出到基板的径向的位置的步骤。

5.如权利要求4所述的显影方法，其特征在于：

将显影液局部地排出的步骤在使所述第二显影液喷嘴停止的状态下进行。

6.如权利要求4所述的显影方法，其特征在于：

所述显影液调整步骤中，在所述基板上设定有所述第二显影液喷嘴排出显影液的多个径向位置，并且该径向位置在所述基板的径向上彼此隔开。

7.如权利要求6所述的显影方法，其特征在于：

将显影液局部地排出的步骤在使所述第二显影液喷嘴停止的状态下进行，并且

显影液的排出流量、基板的每单位时间的旋转数和来自所述第二显影液喷嘴的显影液的供给时间中的至少一个在所述多个径向位置中的一处与所述多个径向位置中的另一处不同。

8.如权利要求1所述的显影方法，其特征在于：

所述第二显影液喷嘴由具有所述接触部的喷嘴构成。

9.如权利要求1所述的显影方法，其特征在于：

除去显影液的步骤是通过使基板旋转而将显影液从基板甩掉的步骤。