[发明专利]一种坩埚及其制备方法在审
申请号: | 201510558054.4 | 申请日: | 2015-09-06 |
公开(公告)号: | CN105088340A | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 郭晓琛;张帅;程爱菊 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 坩埚 及其 制备 方法 | ||
1.一种坩埚的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
将石英浆料与纤维均匀混合在一起;
利用所述石英浆料成型坩埚。
2.根据权利要求1所述的坩埚的制备方法,其特征在于,所述将石英浆料与纤维均匀混合在一起的步骤包括:
直接向石英浆料中添加纤维,并搅拌均匀。
3.根据权利要求1所述的坩埚的制备方法,其特征在于,所述将石英浆料与纤维均匀混合在一起的步骤包括:
将纤维编织成网状结构并放入模具中;
将石英浆料灌入所述网状结构中。
4.根据权利要求1所述的坩埚的制备方法,其特征在于,所述纤维与石英浆料的质量比为2%~10%。
5.根据权利要求1所述的坩埚的制备方法,其特征在于,所述纤维为短纤维、长纤维或二者的混合,其中所述短纤维的长度为1~100毫米,所述长纤维的长度大于短纤维的长度。
6.根据权利要求1所述的坩埚的制备方法,其特征在于,所述纤维为高纯纤维,纯度为98%以上。
7.根据权利要求1所述的坩埚的制备方法,其特征在于,所述纤维的直径为0.5~50微米。
8.根据权利要求1所述的坩埚的制备方法,其特征在于,所述纤维为氧化锆纤维、氧化铝纤维或碳纤维。
9.根据权利要求1所述的坩埚的制备方法,其特征在于,所述利用所述石英浆料成型坩埚的步骤包括:
通过注浆工艺或注凝工艺成型坩埚胚体;
烘烤所述坩埚胚体制得坩埚成品。
10.一种坩埚,由石英浆料成型制得,包括底壁和侧壁,其特征在于,所述底壁和侧壁中均掺杂有均匀分布的纤维。
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