[发明专利]一种单端对声表面波谐振器等效参数的提取方法

权利要求书

1.一种单端对声表面波谐振器等效参数的提取方法，其特征在于具体步骤为：

第一步 构建单端对声表面波谐振器等效参数提取系统

单端对声表面波谐振器等效参数提取系统，包括：等效参数模型构建模块和等效参数提取模块，所述：

等效参数模型构建模块的功能为：构建单端对声表面波谐振器的等效参数模型；

等效参数提取模块的功能为：提取等效参数模型中的等效参数；

第二步 等效参数模型构建模块构建单端对声表面波谐振器的等效参数模型

等效参数模型构建模块根据单端对声表面波谐振器的电路组成，构建等效电路：将动态电容C₁、动态电阻R₁和动态电感L₁串联，然后将该串联电路与静电容C₀并联，获得等效电路；

等效参数模型构建模块计算等效电路的串联谐振频率f_s和并联谐振频率f_p：

在不考虑电感寄生参数的情况下，等效参数模型构建模块在等效电路的两端增加一个并联电感L_x，获得等效参数模型；

由于增加了一个并联电感L_x，则谐振器的等效电路参数发生了变化，除了原有的串联谐振频率f_s不变外，原有的并联谐振频率f_p发生了变化，变化后的并联谐振频率记为f_p1，同时增加了一个并联谐振频率f_p2：

第三步 等效参数提取模块提取等效参数模型中的等效参数

等效参数提取模块利用网络分析仪测出串联谐振频率f_s和两个并联谐振频率f_p1、f_p2及等效动态电阻R₁的实测值，计算出静电容C₀、动态电感L₁和动态电容C₁：

至此，完成单端对声表面波谐振器等效参数的提取。