[发明专利]一种激光直接成像设备图形拼接误差的检测方法在审
| 申请号： | 201510561156.1 | 申请日： | 2015-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN105115426A | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 张磊;王晓光 | 申请（专利权）人： | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 直接 成像 设备 图形 拼接 误差 检测 方法 | ||
1.一种激光直接成像设备图形拼接误差的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：向激光直接成像设备输入一幅拼接误差检测图形，为所述拼接误差检测图形建立一X-Y直角坐标系，所述拼接误差检测图形包括两个直径大小且圆心坐标位置不同的圆；
S2:在所述激光直接成像设备的曝光工作台安置一块基底；
S3：通过所述激光直接成像设备将所述拼接误差检测图形投射到所述基底；
S4：将投影成像后的所述拼接误差图形中的一个圆通过曝光工作台移动到CCD图像传感器下方，通过CCD图像处理系统抓取圆心位置；
S5：将投影成像后的所述拼接误差图形中的另一个圆通过曝光工作台移动到CCD图像传感器下方，通过CCD图像处理系统抓取圆心位置；
S6：获取所述步骤S4与S5两个圆的圆心位置之间的坐标差，并跟S1中所述拼接误差检测图形中两圆心位置之间的坐标差比较，获得拼接误差值。
2.如权利要求1所述的激光直接成像设备图形拼接误差的检测方法，其特征在于，所述步骤S1中两圆的圆心在X轴间距ΔX在0.2至10mm之间，在Y轴上ΔY在0至10mm之间，圆直径大小在0.1mm至5mm之间。
3.如权利要求1所述的激光直接成像设备图形拼接误差的检测方法，其特征在于，所述步骤S2-S5是在黄光照射条件下完成。
4.如权利要求1所述的激光直接成像设备图形拼接误差的检测方法，其特征在于，所述步骤S2中的所述基底为表面覆有一层感光干膜的PCB板。
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