[发明专利]保护覆盖膜的覆盖方法

权利要求书

1.一种保护覆盖膜的覆盖方法，由树脂在板状的晶片的正面形成保护覆盖膜，该覆盖方法包括：

树脂片载置工序，利用包含凝胶状的保护树脂的膜状的树脂片而使该保护树脂覆盖整个该正面，该凝胶状的保护树脂具有水溶性并且具有不会从该正面流出到晶片的外侧的程度的粘度；

贴合工序，向在该树脂片载置工序中覆盖了整个该正面的该树脂片喷射气体而使该保护树脂贴紧于该正面而贴合该树脂片；以及

硬化工序，使经过了该贴合工序的该保护树脂硬化。

2.根据权利要求1所述的保护覆盖膜的覆盖方法，其特征在于，

该树脂片是在对应于晶片的形状的剥离片上涂布该保护树脂而构成的，

在该树脂片载置工序中，该树脂片按照使该保护树脂朝向晶片侧的方式被载置，

在该贴合工序中，该保护树脂通过隔着该剥离片被气体的喷射力朝向晶片按压从而贴紧于该正面，然后剥离该剥离片，从而该保护树脂被复制到该正面。