[发明专利]一种电子束冷床炉观察窗耐热玻璃的清洗方法

权利要求书

1.一种电子束冷床炉观察窗耐热玻璃的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将电子束冷床炉更换下来的耐热玻璃进行挑选，挑选表面无开裂、密封面处无凹坑、无残缺的耐热玻璃，用白砂布拭擦耐热玻璃表面，去除耐热玻璃表面易拭擦的挥发物；

(2)将拭擦过的耐热玻璃放进超声波清洗仪中，并向超声波清洗仪中加入丙酮，直至玻璃完全浸没后，开启超声波清洗仪进行清洗，清洗时间为5～10min；

(3)清洗完成后将耐热玻璃取出，用白砂布拭擦耐热玻璃表面附着物，拭擦完成后用热水清洗耐热玻璃，清洗完成后烘干；

(4)将上述烘干的耐热玻璃的不需清理的表面进行包覆保护膜，然后放进配好的酸液进行浸蚀抛光，酸液的配比为质量比25～35％HF、10～15％H₂SO₄以及余量的水，浸蚀的同时采用超声波清洗，浸蚀时间为10～30s；浸蚀完成后用热水清洗，清洗完成后对需清理面进行机械抛光，抛光完成后再次用热水进行清洗；

(5)去除保护膜，并用热水清洗耐热玻璃表面，清洗完成后烘干即可。

2.按权利要求1所述的一种电子束冷床炉观察窗耐热玻璃的清洗方法，其特征在于，上述步骤(3)、步骤(4)、步骤(5)中所使用的热水温度为60～80℃。

3.按权利要求1所述的一种电子束冷床炉观察窗耐热玻璃的清洗方法，其特征在于，上述步骤(3)、步骤(5)中的烘干温度为120～150℃。