[发明专利]一种在玻璃基板上重新制作扫描线的方法

权利要求书

1.一种在玻璃基板上重新制作扫描线的方法，包括：

步骤一：向所述玻璃基板上的对位记号凹槽内填充不透光材料以在所述对位记号凹槽内形成基板标记；

步骤二：将扫描线掩膜上的且透光的第一对位标记与所述基板标记对应对齐，

所述方法还包括最先的预备步骤，所述预备步骤包括：

对所述玻璃基板上的原第一金属层进行图形化处理后形成原对位记号和原扫描线，

采用含有氟化氢的刻蚀液对原第一金属层进行刻蚀，直至在所述玻璃基板上的原对位记号处形成所述对位记号凹槽。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤一中，采用激光化学气相沉积的方法将所述不透明材料填充到所述对位记号凹槽内。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述不透明材料为钨。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，在所述步骤一之后，还在所述玻璃基板形成有所述基板标记的板面上沉积第一金属层，在所述第一金属层上涂布光刻胶层，

在步骤二之后，还对所述光刻胶层进行曝光，采用显影液对所述光刻胶层显影，采用刻蚀液对所述第一金属层进行刻蚀以使得所述第一金属层形成所述扫描线。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤一之后、步骤二之前，将所述基板标记与载台上的第二对位标记对应对齐。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述基板标记、所述第一对位标记和所述第二对位标记均为两条相交的直线条。