[发明专利]丝网印刷用网板、光刻方法及其应用

说明书

技术领域

本发明涉及一种丝网印刷用的网板、光刻方法、以及他们的应用，尤其涉及一种在太阳能电池板制造过程中可便捷的光刻进行制作槽线的网板、光刻方法以及他们的应用。

背景技术

晶硅太阳能电池的制造工艺中，需要在硅片表面制作栅线以收集硅片中光电转换产生的电流，现有技术采用如下工艺制作栅线：首先在掩膜版上制作栅线图形，利用该图形在网板上对涂覆的光敏胶进行曝光和显影进行光刻，制作出中空线槽，然后通过丝网印刷将导线金属浆料(如银浆)透过网板的槽线印刷在硅片上，烧结制成栅线。现有的网板包括网布和光敏胶层，光敏胶层涂覆在网布上，网板的经线和纬线之间相互交叉。掩膜版上制备有栅线图形，将掩膜版紧贴于网板上有光敏胶层的一面，用紫外光照射，没有被掩膜版栅线图形遮挡的部分，在紫外光条件下固化，而遮挡的部分可冲洗掉，形成槽线。这些形成的槽线，与经纬线之间并未固定的位置关系，往往是交叉的，如图1和图2所示，丝网10中经线101和纬线102形成的交叉点103大量的出现在槽线20中。

为了提高电池片的光电转换效率，需要尽可能减小硅片上栅线的宽度，以增大光照面积，但是，当栅线宽度过窄时，因为这些交叉点103的存在，会阻碍金属导线浆料顺利的从槽线漏印在硅片上；同时印刷浆料时，在经线101和纬线102交叉点位置与经紫外光固化后显影时在槽线部位形成的光敏胶的边沿构成的三角形区域内，具有一定粘度的浆料会不断累积，导致金属浆料能够在槽线中有效渗透通过丝网的面积不断减少，因此，造成硅片上导电栅线出现低点或断点，从而导致栅线的导电性能较差，影响了晶硅电池片的光电转化效率。

申请人之前的中国专利申请CN204367550U公开了一种用于太阳能电池制造的网板，如图3和图4所示，其网布10由若干经线101和纬线102织成，槽线20位于经线或纬线之间。这样，经线和纬线之间的交叉点103不会出现在槽线20中，从而解决了金属浆料不能很好的渗透通过交叉点三角形区域的问题。

但是在实际上述专利的生产制造的应用过程中，申请人发现，因为丝网在编织的制造过程中、以及制造网板过程中，并不能确保经线和纬线完全处于理想的位置，比如可能会出现倾斜、弯曲等现象，而且用于太阳能电池制造的网板中的丝网的丝线间距仅为微米级，如此狭窄的空间内要设置几十根或上百根槽线时，需要在显微镜下借助计算机逐一单独确定每一根槽线的位置，以避免交叉点出现在槽线内，制造过程耗时较长，而且，因丝网中经线和纬线的位置对应与硅片上所要求的栅线的位置因每个网板不同而不同，这样，在大规模生产网板时，不得不给每一张网板制备一张掩模版，使得制造成本增加。

发明内容

针对现有技术丝网印刷过程中制作槽线不便的问题，本发明提供了一种新的丝网印刷用的网板、光刻方法及其应用。

本发明第一个方面提供一种光刻方法，包括：

提供丝网，丝网包括第一方向的丝线和第二方向的丝线；其中，第一方向上设有多个间隔区和丝线区，多个间隔区之间按照一种或多种距离设置，并且间隔区内不设有第一方向的丝线；间隔区与丝线区间隔设置，其中，第一方向上，间隔区宽度大于第一方向丝线区丝线之间距离；丝网上涂布有光敏胶层；

提供掩膜版，掩膜版上设有制作槽线的图形，将掩膜版贴靠在丝网上，使制作槽线的图形位于间隔区上方；

光照，未被图形遮挡的部分的光敏胶固化，移除掩膜版，去除未固化光敏胶，形成槽线。

在本发明的一种优选实施例中，所述光刻方法，包括：

提供丝网，丝网包括第一方向的丝线和第二方向的丝线，其中在第一方向上，等间距形成具有一宽度的间隔区；

将光敏胶涂覆在丝网上制作网板；

提供掩膜版，根据所述间距和宽度，在掩膜版上设置制作槽线的图形，使制作槽线图形间距≥间隔区间距、并且制作槽线图形宽度≤间隔区宽度；将掩膜版覆盖在网板上，使制作槽线的图形位于间隔区；

光照，未被图形遮挡的部分的光敏胶固化，移除掩膜版，去除未固化光敏胶，形成槽线。

本发明第二个方面是提供一种网板，包括丝网，丝网包括第一方向的丝线和第二方向的丝线；其中，第一方向上设有多个间隔区和丝线区，多个间隔区之间按照一种或多种距离设置，并且间隔区内不设有第一方向的丝线；间隔区与丝线区间隔设置，其中，第一方向上，间隔区宽度大于第一方向丝线区丝线之间距离；丝网上涂布有光敏胶层；光敏胶层内设有镂空的槽线，槽线位于间隔区内。

其中，所述网板优选为采用本发明第一个方面所述方法制作。