[发明专利]一种基于单振镜匀速扫描的均匀线光斑光路系统

权利要求书

1.一种基于单振镜匀速扫描的均匀线光斑光路系统，可获得上百毫米范围内任意长度的均匀能量分布的线光斑光路结构，其特征在于：由离轴抛物镜、旋转振镜、斜平面反射镜、斜球面反射镜组成，所述离轴抛物镜、所述旋转振镜、所述斜平面反射镜、所述斜球面反射镜中心位于一直线上，所述离轴抛物镜的平面紧邻激光器的出光口，所述旋转振镜位于所述离轴抛物镜一侧，所述斜平面反射镜位于聚焦焦点处，所述斜球面反射镜位于所述旋转振镜与所述斜平面反射镜之间。

2.根据权利要求1所述的一种基于单振镜匀速扫描的均匀线光斑光路系统，其特征在于：准分子激光出口发射的激光束经过所述离轴抛物镜准直、所述旋转振镜反射，聚焦于所述斜球面反射镜焦距之前，使其到达斜球面反射镜焦距位置时发散为线光斑。

3.根据权利要求1所述的一种基于单振镜高速匀速扫描的均匀线光斑光路系统，其特征在于：所述旋转振镜正反匀速旋转，旋转角取决于需求的线光斑长度，转速变化决定能量分布均匀性。

4.根据权利要求1所述的一种基于单振镜匀速扫描的均匀线光斑光路系统，其特征在于：所述斜平面反射镜光束反射角4°—5°，偏转角为8°—10°，所述斜球面反射镜光束偏转角与所述斜平面反射镜一致。

5.根据权利要求1所述的一种基于单振镜匀速扫描的均匀线光斑光路系统，其特征在于：所述斜平面反射镜包括类平面基底以及安装在基底上的多个平面反射镜，各平面反射镜相对于类平面基底分别劝一定的倾斜方向和角度，所述类平面基底的底面为平面，用于安装平面反射镜的安装面具有多个倾斜凸块组成的陈列，各倾斜凸块的倾斜面的倾斜方向和角度分别与各平面反射镜的倾斜方向和角度相适配。

6.根据权利要求1所述的一种基于单振镜匀速扫描的均匀线光斑光路系统，其特征在于：形成线光斑主要包括以下步骤：

A、出射发散光经过所述离轴抛物镜准直，获得准直光束；

B、准直光束经过所述旋转振镜，通过匀速旋转振镜，可得到匀速旋转的反射准直光，进而形成扇形扫描准直光束；

C、扫描准直光束再经过所述斜平面反射镜，改变准直光束传输方向，形成折叠光路，同时保留光束扫描角；

D、最后经过具有一定倾斜角的大曲率半径所述球面反射镜聚焦，获得聚焦光束传输方向一致、聚焦光斑位置基本相同的线光斑。