[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀坩埚，其特征在于：包括坩埚本体以及与坩埚本体相连通的坩埚口，所述坩埚口的侧壁分布有多个惰性气体通入喷嘴；所述坩埚口呈漏斗状，所述多个惰性气体通入喷嘴斜向上朝向坩埚口的顶部；所述多个惰性气体通入喷嘴沿高度方向分为至少两层，每层的惰性气体通入喷嘴水平环列分布，较高一层惰性气体通入喷嘴与水平方向的夹角，大于较低一层惰性气体通入喷嘴与水平方向的夹角。

2.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述多个惰性气体通入喷嘴沿高度方向分为三层，其中，底层惰性气体通入喷嘴与水平方向的夹角为45度，中间层惰性气体通入喷嘴与水平方向的夹角为60度，上层惰性气体通入喷嘴与水平方向的夹角为75度。

3.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚口的底部设置有滤网；和/或，所述坩埚本体的底部设置有蜂窝状导热板。

4.如权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蜂窝状导热板与所述坩埚本体的底部为一体结构。

5.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸镀腔室、位于蒸镀腔室内的如权利要求1～4任一项所述的蒸镀坩埚，以及位于蒸镀腔室外的惰性气体罐，所述惰性气体罐通过气体管路连通蒸镀坩埚的多个惰性气体通入喷嘴。

6.如权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括位于蒸镀腔室外并串接于气体管路上的以下设备中的至少一种：

质量流量控制器、气体增压泵以及气体加热交换器。

7.如权利要求5或6所述的蒸镀设备，其特征在于，

通入坩埚口的惰性气体的流量Q满足：Q＝kQ₀，Q₀为蒸镀材料蒸发流量，k为比例系数，5≤k≤10；

通入坩埚口的惰性气体的温度T满足：T₀-T≤△T，T₀为蒸镀材料蒸发温度，△T为设定温度差，且△T＞0；

通入坩埚口的惰性气体的压强满足：P＞P₀，P₀为蒸镀材料蒸发气体的压强。

8.如权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，所述惰性气体罐包括氩气惰性气体罐。