[发明专利]蒸镀掩膜板及其制作方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩膜板，用于显示面板上像素区域的蒸镀，所述显示面板包括基板，设置于所述基板上的像素限定层，及设置于所述像素限定层上的垫块，所述像素限定层将所述基板划分成若干个子像素区域，其特征在于，所述蒸镀掩膜板包括掩膜板本体及形成在所述掩膜板本体上的蒸镀孔，所述蒸镀孔贯穿所述掩膜板本体，所述掩膜板本体包括减薄区及围绕所述减薄区设置的有效区，所述减薄区位于所述掩膜板本体对应所述显示面板上所述垫块的位置，所述减薄区的厚度小于所述有效区的厚度。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述减薄区的大小与所述垫块匹配。

3.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述减薄区的厚度与所述有效区的厚度之差为3～8毫米。

4.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述减薄区围绕所述蒸镀孔连续设置。

5.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述子像素区域包括蒸镀子像素区域及非蒸镀子像素区域，所述有效区位于所述掩膜板本体对应所述显示面板上的所述非蒸镀像素区域。

6.根据权利要求5所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述有效区的厚度为25～35微米。

7.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述蒸镀孔呈阵列式分布。

8.一种采用权利要求1～7任一所述的蒸镀掩膜板的蒸镀方法，其特征在于，包括如下步骤：

将所述蒸镀掩膜板与所述基板设置有所述像素限定层的一侧贴合，使所述蒸镀孔位于所述基板上蒸镀的子像素区域，所述垫块容置于所述减薄区与所述有效区围成的容置空间内，所述掩膜板本体中所述有效区与所述显示面板中对应的所述像素限定层抵接。

9.一种如权利要求1～7任一所述蒸镀掩膜板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

通过第一次构图工艺，在金属基板的第一表面形成减薄区；同时，

通过第二次构图工艺，在所述金属基板与所述第一表面相对设置的第二表面上形成贯穿所述金属基板的蒸镀孔，得到蒸镀掩膜板。

10.根据权利要求9所述的蒸镀掩膜板的制作方法，其特征在于，所述第一次构图工艺具体包括如下步骤：

在金属基板的第一表面形成光刻胶层，通过曝光、显影，在所述光刻胶层上形成图形化的开口，以裸露出部分所述金属基板；

对所述金属基板的所述第一表面对应所述开口的位置进行刻蚀，以使所述金属基板的所述第一表面形成所述减薄区。