[发明专利]利用毛笔制备有机半导体单晶微纳线阵列的方法有效

专利信息
申请号: 201510569518.1 申请日: 2015-09-09
公开(公告)号: CN105185910B 公开(公告)日: 2018-02-13
发明(设计)人: 汤庆鑫;刘益春;童艳红;张鹏 申请(专利权)人: 东北师范大学
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/40
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司11245 代理人: 关畅
地址: 130024 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 利用 毛笔 制备 有机半导体 单晶微纳线 阵列 方法
【权利要求书】:

1.一种制备单晶阵列的方法,包括如下步骤:

1)将有机半导体材料溶于溶剂中,得到有机半导体材料的溶液;

2)将衬底进行等离子处理后,用毛笔蘸取步骤1)所得有机半导体材料的溶液,按压在等离子处理后的衬底上,待溶液铺开,再将毛笔慢慢抬起,待所述溶剂挥发后,得到所述单晶阵列。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤1)中,有机半导体材料为TCNQ或DBTTF;

所述溶剂为乙腈或二氯甲烷;

所述有机半导体材料的溶液中,有机半导体材料的浓度为0.2g/L-3g/L。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:所述步骤2)等离子处理步骤中,时间为0.5min-2min;

功率为10-40W;

处理气氛为氧气气氛;

真空度为30-40pa;

氧气的流速为5-10sccm。

4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:所述步骤2)中,衬底为刚性衬底或柔性衬底。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于:所述刚性衬底为硅片、硅/二氧化硅片、玻璃片和三维玻璃半球中的任意一种;

所述柔性衬底为聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜或隐形眼镜。

6.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:所述单晶阵列为微纳阵列。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于:所述微纳阵列为微纳线阵列。

8.权利要求1-7任一所述方法制备得到的单晶阵列。

9.根据权利要求8所述的单晶阵列,其特征在于:所述单晶阵列为微纳阵列。

10.根据权利要求9所述的单晶阵列,其特征在于:所述微纳阵列为微纳线阵列。

11.权利要求8-10任一所述单晶阵列作为半导体层在制备场效应晶体管中的应用。

12.以权利要求8-10任一所述单晶阵列作为半导体层的场效应晶体管。

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