[发明专利]利用毛笔制备有机半导体单晶微纳线阵列的方法有效
申请号: | 201510569518.1 | 申请日: | 2015-09-09 |
公开(公告)号: | CN105185910B | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
发明(设计)人: | 汤庆鑫;刘益春;童艳红;张鹏 | 申请(专利权)人: | 东北师范大学 |
主分类号: | H01L51/05 | 分类号: | H01L51/05;H01L51/40 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司11245 | 代理人: | 关畅 |
地址: | 130024 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 利用 毛笔 制备 有机半导体 单晶微纳线 阵列 方法 | ||
1.一种制备单晶阵列的方法,包括如下步骤:
1)将有机半导体材料溶于溶剂中,得到有机半导体材料的溶液;
2)将衬底进行等离子处理后,用毛笔蘸取步骤1)所得有机半导体材料的溶液,按压在等离子处理后的衬底上,待溶液铺开,再将毛笔慢慢抬起,待所述溶剂挥发后,得到所述单晶阵列。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤1)中,有机半导体材料为TCNQ或DBTTF;
所述溶剂为乙腈或二氯甲烷;
所述有机半导体材料的溶液中,有机半导体材料的浓度为0.2g/L-3g/L。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:所述步骤2)等离子处理步骤中,时间为0.5min-2min;
功率为10-40W;
处理气氛为氧气气氛;
真空度为30-40pa;
氧气的流速为5-10sccm。
4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:所述步骤2)中,衬底为刚性衬底或柔性衬底。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于:所述刚性衬底为硅片、硅/二氧化硅片、玻璃片和三维玻璃半球中的任意一种;
所述柔性衬底为聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜或隐形眼镜。
6.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:所述单晶阵列为微纳阵列。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于:所述微纳阵列为微纳线阵列。
8.权利要求1-7任一所述方法制备得到的单晶阵列。
9.根据权利要求8所述的单晶阵列,其特征在于:所述单晶阵列为微纳阵列。
10.根据权利要求9所述的单晶阵列,其特征在于:所述微纳阵列为微纳线阵列。
11.权利要求8-10任一所述单晶阵列作为半导体层在制备场效应晶体管中的应用。
12.以权利要求8-10任一所述单晶阵列作为半导体层的场效应晶体管。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
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