[发明专利]一种有机EL元件蒸发镀膜装置在审
| 申请号： | 201510571896.3 | 申请日： | 2015-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN106521426A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 任海 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 有机 el 元件 蒸发 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
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