[发明专利]单晶硅生长分区式不间断稳定供电技术

权利要求书

1.一种提拉法单晶硅生长分区式不间断稳定供电技术；市电与单晶生长炉完全断开，只通过本发明供电技术供电；硅单晶生长炉用电分成直流和交流两个区域，直流区域为加热器和控制系统，交流区域为炉体冷却、晶体旋转、坩埚旋转等辅助系统；本发明单晶硅生长不间断稳定供电技术主体分成四个部分，第一部分为市电及备用电源输入、整流稳定及充电部分，且通过升压将电压提高12%；第二部分为电池组部分，采用锂离子电池做为长效型电池存储单元，可持续单独供电30min；第三部分为直流输出部分，是主功率输出部分，具备电压和电流的双重供电调节能力，分为多级体系，为加热器和控制系统供电；第四部分为交流输出部分，采用逆变器输出，为冷却水等辅助系统供电。

2.根据权利要求1所述的一种提拉法单晶硅生长分区式不间断稳定供电技术，其特征在于电源的输入具备两组电源，分别为380V交流市电和备用380V交流电源，备用电源可以为备用发电机组；电源的功率要求300kW以上；整流稳定及充电部分的特征在于，电源引入在本发明供电技术是以变压器的方式接入，采用电容、电感滤除输入电源的波动噪声。

3.根据权利要求1至2所述的单晶硅生长分区式不间断稳定供电技术，其特征在于接入变压器为升压变压器，将市电的电压提高12%；功率器件为功率双极晶体管，可以在功率双极晶体管中引入RCD电路，使功率双级晶体管处于安全工作区间；采用6脉冲或12脉冲晶闸管全桥整流，将交流电转换成直流电压；为逆变器供电和电池组充电。

4.根据权利要求1至3所述的单晶硅生长分区式不间断稳定供电技术，其特征还在于电池组的特征在于，采用长效型锂离子电池做为存储电池组，采用磷酸铁锂做为正极，采用钛酸锂做为负极材料，电池充放电循环在1000次以上；单体电池组的额定电压为48V，容量为200Ah；整体存储电池组由48个单体电池组构成，连接方式为3并8串；在储能电池组在市电和备用电源断电的情况下，可单独持续供电30min。

5.根据权利要求1至4所述的单晶硅生长分区式不间断稳定供电技术，其特征在于直流输出部分为主输出部分，其特征在于具备电压和电流的双重调节能力；将直流电压通过电路分压成多个低压直流电源，满足碳板电极和控制系统用电要求。

6.根据权利要求1至5所述的单晶硅生长分区式不间断稳定供电技术，其特征在于供电技术交流电压的输出部分，市电整流后的直流电压或储电池组的直流电压，通过电压调节稳定保持在380V后，直流电压引逆变器；逆变器采用全桥逆变电路，根据硅单晶炉提供交流电源，可提供三相或单相交流电源。