[发明专利]基于液晶背流效应的微驱动器、驱动装置及其动态性能测量装置

权利要求书

1.一种液晶型微驱动器，包括：移动部件、液晶材料、微小球状颗粒和底座；其特征在于：

移动部件本体上、下表面形成有第一电极，所述上、下表面的第一电极之间电连接，在下表面的该第一电极表面覆盖有配向膜，移动部件本体上表面第一电极为反光面；

底座本体上表面形成有第二电极，在该第二电极表面覆盖有配向膜；

移动部件间隔预定距离位于底座上方，在移动部件与底座之间填充有液晶材料，液晶材料分别与底座的配向膜和移动部件的配向膜相接触；

微小球状颗粒混合于液晶材料中，置于移动部件和底座之间。

2.根据权利要求1所述的微驱动器，其特征在于：所述移动部件为移动上板。

3.根据权利要求1所述的微驱动器，其特征在于：所述底座为固定下板。

4.根据权利要求1所述的微驱动器，其特征在于：所述第一电极为覆盖在移动部件整体上的镀金电极膜，第二电极为覆盖在底座本体上表面上的镀金电极膜。

5.根据权利要求1所述的微驱动器，其特征在于：所述配向膜为高分子配向膜。

6.一种液晶型微驱动器的驱动装置，包括：如权利要求1-5之一所述的微驱动器，细铁棒，导电液滴和电极夹；其特征在于：

其中，导电液滴设置在移动部件上表面的第一电极上并与该第一电极直接接触，一个电极夹夹住细铁棒使得细铁棒位于移动部件上表面一定距离之上且不与移动部件上表面的第一电极直接接触，该细铁棒与导电液滴接触，另一个电极夹夹住底座并与第二电极接触，外加电场通过上述电极夹传给微驱动器的移动部件和底座。

7.一种测量如权利要求1-5之一所述的液晶型微驱动器动态性能的装置，包括：信号发生器、功率分析仪、超窄脉冲光源、影像采集装置、色散器件、光电探测器和电脑，其特征在于：

信号发生器和功率分析仪均连接在液晶型微驱动器的第一电极和第二电极两端，信号发生器发出电信号驱动所述微驱动器的移动部件移动，功率分析仪测量并显示液晶型微驱动器的电压、电流、电阻和/或电容变化；

超窄脉冲光源发出光，照射在液晶型微驱动器的移动部件上表面，所述微驱动器的移动部件上表面对该光进行反射；

影像采集装置采集被观测微驱动器运动过程的反射光；

影像采集装置采集的反射光在色散器件上被展开为光信号信息；

利用光电探测器读取光信号信息，并在电脑中处理收集到的信息。

8.一种测量如权利要求6所述的液晶型微驱动器的驱动装置动态性能的装置，包括，信号发生器、功率分析仪、超窄脉冲光源、影像采集装置、色散器件、光电探测器和电脑，其特征在于：

信号发生器和功率分析仪均连接在液晶型微驱动器的第一电极和第二电极的两端，信号发生器发出电信号驱动所述微驱动器的移动部件移动，功率分析仪测量并显示液晶型微驱动器的电压、电流、电阻和/或电容的变化；

超窄脉冲光源发出光，照射在液晶型微驱动器的移动部件上表面，所述微驱动器的移动部件上表面对该光进行反射，当移动部件移动时，其反射的光信号强度发生变化，移动部件的运动过程的影像信息被记录在光信号的强度变化上；

影像采集装置采集被观测微驱动器运动过程的反射光；

影像采集装置采集的反射光在色散器件上被展开为光信号信息；

利用光电探测器读取光信号信息，并在电脑中处理收集到的信息。

9.一种测量如权利要求1-5之一所述的液晶型微驱动器动态性能的方法，其特征在于包括如下步骤：

将信号发生器和功率分析仪均连接在液晶型微驱动器的第一电极和第二电极两端，信号发生器发出电信号驱动所述微驱动器的移动部件移动，功率分析仪测量并显示液晶型微驱动器的电压、电流、电阻和/或电容变化；

超窄脉冲光源发出光，照射在液晶型微驱动器的移动部件上表面，所述微驱动器的移动部件上表面对该光进行反射；

影像采集装置采集被观测微驱动器运动过程的反射光；

影像采集装置采集的反射光在色散器件上被展开为光信号信息；

利用光电探测器读取光信号信息，并在电脑中处理收集到的信息。

10.一种测量如权利要求6所述的液晶型微驱动器的驱动装置动态性能的方法，其特征在于包括如下步骤：

将信号发生器和功率分析仪均连接在液晶型微驱动器的第一电极和第二电极两端，信号发生器发出电信号驱动所述微驱动器的移动部件移动，功率分析仪显示液晶型微驱动器的电压、电流、电阻和/或电容变化；

超窄脉冲光源发出光，照射在液晶型微驱动器的移动部件上表面，所述微驱动器的移动部件上表面对该光进行反射，当移动部件移动时，其反射的光信号强度发生变化，移动部件的运动过程的影像信息被记录在光信号的强度变化上；

影像采集装置采集被观测微驱动器运动过程的反射光；

影像采集装置采集的反射光在色散器件上被展开为光信号信息；

利用光电探测器读取光信号信息，并在电脑中处理收集到的信息。