[发明专利]一种高温抗氧化涂层的复合沉积方法有效
| 申请号： | 201510576645.4 | 申请日： | 2015-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN105132888B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 冯煜东;熊玉卿;赵栋才;王兰喜;王金晓 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高温 氧化 涂层 复合 沉积 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于高温抗氧化涂层的复合沉积方法，其特征在于，包括下列步骤：
(1) 将需沉积涂层的基底放置于反应室内，将反应室抽真空，真空度范围大于等于1×10-3Pa、小于等于5×10-3Pa；
(2) 利用加热装置对基底加热并保持相应加热温度，加热温度依据所沉积材料选取；
(3) 利用原子层沉积技术在基底上沉积一层所需的原子层沉积高温抗氧化层，原子层沉积高温抗氧化层厚度范围大于等于0.1μm、小于等于0.2μm；
(4) 利用化学气相沉积技术沉积一层与步骤（3）中同种材料的化学气相沉积高温抗氧化层，化学气相沉积高温抗氧化层厚度范围为大于等于1μm、小于等于2μm；
(5) 交替重复上述步骤(3) 至(4)，直到高温抗氧化层的厚度满足要求为止；
所述加热温度选取范围大于等于600℃、小于等于900℃。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
