[发明专利]操作粒子光学单元的粒子束系统和方法

权利要求书

1.一种操作多波束粒子光学单元的方法，其中，所述多波束粒子光学单元具有至少两个粒子光学部件，多个粒子束均通过所述至少两个粒子光学部件，并且所述至少两个粒子光学部件对所述粒子束的效应是可设定的，并且其中所述方法包括：

(1)提供所述粒子光学部件的效应的第一设定，使得具有所述粒子束的粒子的第一平面被粒子光学地成像到第二平面中，其中所述粒子光学成像可通过至少两个参数来表征；

(2)确定矩阵A，使得以下适用：

其中

且

其中，

是具有分量w₁¹，w₂¹，......，w_n¹的矢量，其中n是粒子光学部件的数目，并且所述分量中的每一个表示在所述第一设定的情况下所述粒子光学部件中的一个的效应的值，

是具有分量w₁，w₂，......，w_n的矢量，所述分量表示在与所述第一设定不同的设定的情况下所述粒子光学部件的效应的值，

是具有分量p₁¹，p₂¹，......，p_m¹的矢量，其中m是表征所述粒子光学成像的参数的数目，并且所述分量中的每一个表示在所述第一设定的情况下所述参数中的一个的值，以及

是具有分量p₁，p₂，......，p_m的矢量，所述分量表示在与所述第一设定不同的设定的情况下所述参数的值；

(3)确定矩阵S，使得以下适用：

S·A＝D_A，

其中D_A是对角矩阵；

(4)限定表征期望的粒子光学成像的参数的值；

(5)提供所述粒子光学部件的效应的第二设定，使得所述粒子光学成像由具有限定值的参数表征，其中所述第二设定所需的效应根据以下来确定：

其中

且

其中：

是具有分量w₁²，w₂²，......，w_n²的矢量，所述分量表示在所述第二设定的情况中所述粒子光学部件的效应的值，

是具有分量p₁²，p₂²，......，p_n²的矢量，所述分量表示所述参数的限定值。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，表征所述粒子光学成像的所述至少两个参数选自包括成像比例、旋转、束路径的会聚度和所述第一平面和所述第二平面之间沿着所述束路径的距离的参数组。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，确定所述矩阵A包括：

产生与所述第一设定不同的设定，使得所述矢量的分量Δw₁¹，Δw₂¹，.....，Δw_n¹中只有一个与零不同，

分析在所述粒子光学部件的设定与所述第一设定不同的情况下出现的粒子光学成像，以及

确定表征所述粒子光学成像的参数。

4.根据权利要求3所述的方法，还包括：重复产生与所述第一设定不同的设定的过程，其中每次所述矢量的分量Δw₁¹，Δw₂¹，......，Δw_n¹中的不同的一个与零不同。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其中，确定所述矩阵A包括数值模拟所述粒子光学成像。