[发明专利]一种硅料的清洗液及其清洗方法在审

专利信息
申请号: 201510584155.9 申请日: 2015-09-15
公开(公告)号: CN105110336A 公开(公告)日: 2015-12-02
发明(设计)人: 刘耀峰 申请(专利权)人: 无锡荣能半导体材料有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 代理人: 牟彩萍
地址: 214183 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 清洗 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种硅料的清洗液,其特征在于:由浓度38%盐酸和浓度65%硝酸按体积比为(6.5-9):1组成的混合酸洗液。

2.根据权利要求1所述的硅料的清洗方法液,其特征在于:浓度38%盐酸与浓度65%硝酸按体积比为8:1。

3.一种硅料的清洗方法,其特征在于:将混有金属物的硅料放入浸泡池中,然后将权利要求1或2所述的清洗液缓慢倒入池子,使液体浸过硅料,硅料浸泡24小时后将酸液排出;将浸泡过的硅料用纯水冲洗两遍,然后泡上水使用小棒搅拌几次,排掉酸性废水,然后对硅料进行常规的清洗操作即可。

4.根据权利要求3所述的硅料的清洗方法,其特征在于:硅料浸泡24小时内使用小棒缓慢搅拌2次硅料,以便底部硅料可以充分与酸接触,保证金属物与酸能彻底反应掉。

5.根据权利要求3所述的硅料的清洗方法,其特征在于:浸泡池中放入的硅料高度在15cm以内,铺平。

6.根据权利要求3所述的硅料的清洗方法,其特征在于:排出的酸液回收后作为清洗液重复利用,使用时,将新酸中加入50%的旧酸液即可。

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