[发明专利]一种溶胶凝胶法制备金红石二氧化钛纳米薄膜的方法在审
申请号: | 201510587454.8 | 申请日: | 2015-09-14 |
公开(公告)号: | CN105175010A | 公开(公告)日: | 2015-12-23 |
发明(设计)人: | 廖宇龙;王晓艺;张怀武;钟智勇;文天龙;杨青慧 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | C04B41/50 | 分类号: | C04B41/50 |
代理公司: | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人: | 吴姗霖 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 溶胶 凝胶 法制 金红石 氧化 纳米 薄膜 方法 | ||
1.一种溶胶凝胶法制备金红石二氧化钛纳米薄膜的方法,具体包括以下步骤:
步骤1:以钛酸四丁酯为溶质,单乙醇氨、乙二醇甲醚和丙酮的混合液为溶剂,配制钛酸四丁酯的浓度为0.1~0.6mol/L的前驱体溶液;其中,单乙醇氨、乙二醇甲醚和丙酮的体积比为1:1:0.5;
步骤2:在步骤1得到的前驱体溶液中加入乙酰丙酮、丙三醇,搅拌,得到透明均匀的溶胶;其中,钛酸四丁酯与乙酰丙酮的摩尔比为1:(1~3),丙三醇的体积百分数为5%;
步骤3:将步骤2得到的溶胶旋涂在清洗干净的硅片上,然后在烘箱中200~275℃下干燥,使溶剂充分挥发;最后再置于退火炉中,在700~750℃下退火1~2h,得到本发明所述金红石二氧化钛纳米薄膜。
2.根据权利要求1所述的溶胶凝胶法制备金红石二氧化钛纳米薄膜的方法,其特征在于,步骤3所述旋涂时的转速为2000~3000转/min。
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