[发明专利]滚轮套筒

说明书

技术领域

本发明涉及光学技术领域，特别涉及一种滚轮套筒。

背景技术

等离子体增强化学气相沉积(英文：PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition；简称：PECVD)是薄膜晶体管液晶显示器(英文：ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay；简称：TFT—LCD)行业以及薄膜太阳能行业中的重要工艺。图1是一种PECVD工艺腔室的示意图，如图1所示，PECVD工艺腔室内设置有喷头10，喷头支架101，气体通道12，支撑杆13，也称为支撑销(英文：pin)，滚轮套筒(英文：RollerBush)14和基板支撑件15，其中滚轮套筒套置在支撑杆13上，并安置在基板支撑件15的凹槽内。机械手将基板16送入PECVD工艺腔室进行装载时，可以将该基板16置于该多个支撑杆13的上部，该滚轮套筒14和基板支撑件15可以相对于该支撑杆13持续上下运动，以此调整该基板16和基板支撑件15之间的距离，以便于机械手装载以及卸载基板。

相关技术中，滚轮套筒包括套筒主体，在该套筒主体内壁的上端和下端，分别设置有沿该套筒的中轴线等间距圆周阵列排布的4个滚轮，每个滚轮的中轴线与套筒主体的中轴线相互垂直。当滚轮套筒上下运动时，该套筒主体内上下两端的滚轮可以与支撑杆接触，以保证该滚轮套筒可以自由上下运动，进而确保该支撑杆的稳定性，防止基板破碎。

但是，相关技术中的滚轮套筒内上下两端各设置有4个滚轮，支撑杆与滚轮套筒通过滚轮实现上下相对运动时，支撑杆与滚轮套筒容易出现相对晃动，导致支撑杆与滚轮套筒的接触稳定性较低。

发明内容

为了解决相关技术的问题，本发明提供了一种滚轮套筒。所述技术方案如下：

本发明提供了一种滚轮套筒，所述滚轮套筒包括：

套筒主体，设置在所述套筒主体内部上端的上滚轮组，设置在所述套筒主体内部下端的下滚轮组，以及设置在所述套筒主体内，所述上滚轮组和所述下滚轮组之间的至少一组中间滚轮组；

所述中间滚轮组与所述上滚轮组的滚轮在所述套筒主体上开口面和下开口面中任一开口面的投影不重叠；

所述中间滚轮组与所述下滚轮组的滚轮在所述任一开口面的投影不重叠。

可选的，所述至少一组中间滚轮组为一组中间滚轮组，

所述上滚轮组、所述下滚轮组和所述中间滚轮组中每个滚轮组的滚轮分布在所述套筒主体的同一横截面上；

所述中间滚轮组的滚轮分布的横截面与所述上滚轮组的滚轮分布的横截面的距离等于所述中间滚轮组的滚轮分布的横截面与所述下滚轮组的滚轮分布的横截面的距离。

可选的，每个所述中间滚轮组包括4个滚轮，所述4个滚轮沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布。

可选的，所述上滚轮组与所述下滚轮组的滚轮在所述任一开口面的投影重叠；

所述中间滚轮组与所述上滚轮组的滚轮在所述任一开口面的投影沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布；

所述中间滚轮组与所述下滚轮组的滚轮在所述任一开口面的投影沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布。

可选的，所述上滚轮组包括4个滚轮，所述4个滚轮沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布；

所述下滚轮组包括4个滚轮，所述4个滚轮沿所述套筒主体的中轴线等间距圆周阵列排布。

可选的，所述上滚轮组、所述下滚轮组和所述中间滚轮组中包括的滚轮为凹槽轮。

可选的，所述凹槽轮的最大直径为10mm；所述凹槽轮的凹槽处的最小直径为9.5mm。

可选的，所述套筒主体中，设置有滚轮组的位置的外径大于所述套筒主体其他位置的外径。

可选的，所述套筒主体的长度为160mm；所述上滚轮组与所述下滚轮组之间的间距为120mm。

本发明提供的技术方案带来的有益效果是：

本发明提供的一种滚轮套筒，该滚轮套筒包括套筒主体，设置在该套筒主体内部上端的上滚轮组，设置在该套筒主体内部下端的下滚轮组，以及设置在该套筒主体内，该上滚轮组和该下滚轮组之间的至少一组中间滚轮组；该中间滚轮组与该上滚轮组的滚轮在该套筒主体上开口面和下开口面中任一开口面的投影不重叠；该中间滚轮组与该下滚轮组在该任一开口面的投影不重叠。因此本发明实施例提供的滚轮套筒，套筒主体内设置的中间滚轮组与上下滚轮组交错排布，保证了支撑杆四周都能够与滚轮接触，进而提高了支撑杆与滚轮套筒的接触稳定性。

附图说明