[发明专利]基于MEMS声传感器的可视化电子式听诊器

权利要求书

1.一种基于MEMS声传感器的可视化电子式听诊器，其特征在于：包括聚氨酯透声帽（1）、壳体（2）和盖体（3）；聚氨酯透声帽（1）的敞口端扣在壳体（2）的壳口上并用聚氨酯胶密封固定；壳体（2）的内腔中固定有MEMS声传感器微结构（4），壳体（2）的壳底上开设有注油孔（5）和引线孔（6），壳体（2）的壳底外表面上设有信号处理电路板仓（7）和锂电池仓（8）；盖体（3）固定于壳体（2）的底部，且盖体（3）的盖面上设有液晶显示屏（9）和若干功能选择按键（10）；MEMS声传感器微结构（4）的加工材料为SOI硅圆片，采用MEMS半导体微加工技术加工而成，具体是在硅衬底上利用ICP等离子刻蚀技术刻蚀出中心质量块（4-1）、支撑边框（4-2）以及两根对称的用于连接中心质量块（4-1）和支撑边框（4-2）的悬臂梁（4-3），在每根悬臂梁（4-3）的两端分别利用等离子注入技术注入硼离子形成压敏电阻（4-4），四个压敏电阻（4-4）的阻值相等且之间通过金属引线连接成一个检测心肺声信号的惠斯通全桥差动电路；信号处理电路板仓（7）内安装有信号处理电路板，信号处理电路板上设有依次连接的电源供压模块、可调稳压电源模块、高通滤波模块、二级差分放大模块、低通滤波器模块、转换模块、储存模块和单片机处理模块，储存模块上还连接有蓝牙传输模块，单片机处理模块与液晶显示屏（9）连接，MEMS声传感器微结构（4）的输出端导线通过引线孔（6）引出后与高通滤波模块连接，并且将引线孔（6）密封；锂电池仓（8）内安装有锂电池，锂电池为信号处理电路板上的各模块以及MEMS声传感器微结构（4）供电；通过注油孔（5）向聚氨酯透声帽（1）和壳体（2）内腔形成的密封腔体内灌满绝缘硅油，然后将注油孔（5）密封。