[发明专利]一种制作太阳能电池电极的方法有效
申请号: | 201510590830.9 | 申请日: | 2015-09-16 |
公开(公告)号: | CN106549081B | 公开(公告)日: | 2017-11-28 |
发明(设计)人: | 冷世伟;林宏业;韦家亮 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司11283 | 代理人: | 严政,李婉婉 |
地址: | 518118 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制作 太阳能电池 电极 方法 | ||
1.一种制作太阳能电池电极的方法,该方法包括以下步骤:
(1)往太阳能电池硅片的表面涂覆含有过渡金属络合物的金属浆料;
(2)将涂覆有所述金属浆料的太阳能电池硅片的表面需要形成电极的区域进行光固化,使得该区域的金属浆料进行光固化反应;
(3)将经光固化的太阳能电池硅片用显影药水进行浸泡,使得未进行光固化的区域上的金属浆料溶解在所述显影药水中,以形成电极图案;
(4)将步骤(3)得到的产品进行高温烧结,然后在所述电极图案上依次进行表面活化和表面金属化。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述金属浆料为浓度为0.5-20重量%的过渡金属络合物的溶液。
3.根据权利要求2所述的方法,其中,所述过渡金属络合物中的金属选自锡、钛、铝和铅中的至少一种。
4.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述光固化为紫外光固化或激光固化。
5.根据权利要求4所述的方法,其中,当所述光固化为紫外光固化时,所述光固化的方式为:往涂覆有所述金属浆料的太阳能电池硅片的表面上遮盖掩膜,所述掩膜包括透光区域和不透光区域且所述透光区域的图案为电极图案,然后进行紫外光固化,使得所述透光区域的金属浆料进行光固化反应。
6.根据权利要求5所述的方法,其中,所述光固化的条件包括紫外光能量为500-3000mj/cm2。
7.根据权利要求4所述的方法,其中,当所述光固化为激光固化时,所述光固化的方式为:往涂覆有所述金属浆料的太阳能电池硅片的表面需要形成电极的区域采用激光进行照射,使得经激光照射区域上的金属浆料进行光固化反应。
8.根据权利要求7所述的方法,其中,所述光固化的条件包括激光能量为500-3000mj/cm2。
9.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述显影药水为醇类溶剂和/或四甲基氢氧化铵水溶液。
10.根据权利要求9所述的方法,其中,所述显影药水为醇类溶剂或者醇类溶剂和四甲基氢氧化铵水溶液的混合物。
11.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述浸泡的条件包括:显影药水的温度为10-80℃,浸泡时间为10-240s。
12.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述高温烧结的条件包括烧结温度为300-900℃,烧结时间为0.5-2小时。
13.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述表面金属化的方式为依次进行镀镍层、镀铜层和镀保护剂层。
14.根据权利要求13所述的方法,其中,所述保护剂层为镍层和/或铬层。
15.根据权利要求1或2所述的方法,其中,该方法还包括在往所述太阳能电池硅片的表面涂覆金属浆料之后、光固化之前,将所述太阳能电池硅片在温度为60-150℃下处理0.1-60min。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的