[发明专利]照明光学设备、曝光装置和制造物品的方法

权利要求书

1.一种使用来自光源的光来照明待照明面的照明光学设备，其特征在于，该照明光学设备包括：

一个光学积分器，

成像光学系统，配置成使包括如下焦点的面与所述一个光学积分器的入射端面具有光学共轭关系，在所述焦点处，聚光镜以相对于从光源指向待照明面的光轴的第一角度会聚来自光源的光，并且

其中，成像光学系统将来自所述焦点的光转换成要以相对于光轴的大于第一角度的第二角度会聚到所述一个光学积分器的入射端面上的光，

其中，所述一个光学积分器使从入射端面入射的光在内表面反射多次并且射出从入射端面入射的光；并且

其中，待照明面是用来自所述一个光学积分器的光照明的。

2.根据权利要求1所述的照明光学设备，还包括：

第二成像光学系统，配置成将来自光学积分器的光成像在待照明面上。

3.根据权利要求1所述的照明光学设备，其中，光学积分器的出射端面和待照明面是光学共轭的。

4.根据权利要求1所述的照明光学设备，还包括：

波长滤波器，配置成减少特定波长的光，并且

其中，波长滤波器被布置在所述焦点和光学积分器之间。

5.根据权利要求4所述的照明光学设备，其中，波长滤波器被布置在射束有效直径比光学积分器的入射端面的射束有效直径大的位置处。

6.根据权利要求4所述的照明光学设备，其中，波长滤波器被设置得比包括在成像光学系统中的多个透镜中的在光路上最靠近光学积分器的透镜更靠近光源。

7.根据权利要求6所述的照明光学设备，其中，波长滤波器被布置在包括在成像光学系统中的多个透镜之间。

8.根据权利要求6所述的照明光学设备，其中，波长滤波器被布置在成像光学系统的光瞳面处或者被布置在该光瞳面附近。

9.一种使用来自光源的光来照明待照明面的照明光学设备，其特征在于，该照明光学设备包括：

一个光学积分器，

聚光光学系统，配置成使包括如下焦点的面与所述一个光学积分器的入射端面光学地具有傅里叶变换关系，在所述焦点处，聚光镜以相对于从光源指向待照明面的光轴的第一角度会聚来自光源的光，并且

其中，聚光光学系统将来自所述焦点的光转换成要以相对于光轴的大于第一角度的第二角度入射到所述一个光学积分器的入射端面上的光，

其中，所述一个光学积分器使从入射端面入射的光在内表面反射多次并且射出从入射端面入射的光；并且

其中，待照明面是用来自所述一个光学积分器的光照明的。

10.根据权利要求9所述的照明光学设备，还包括：

波长滤波器，配置成减少特定波长范围内的光，并且

其中，波长滤波器被布置在所述焦点和光学积分器之间。

11.根据权利要求10所述的照明光学设备，其中，波长滤波器被设置得比包括在聚光光学系统中的多个透镜中的在光路上最靠近光学积分器的透镜更靠近光源。

12.根据权利要求9所述的照明光学设备，还包括：

成像光学系统，配置成将来自光学积分器的光成像在待照明面上。

13.根据权利要求9所述的照明光学设备，其中光学积分器的出射端面与待照明面是光学共轭的。