[发明专利]一种扫描电镜样品台定位装置及其定位方法

权利要求书

1.一种扫描电镜样品台定位装置，其特征在于，所述定位装置包括：摄像头、图像采集系统调节架、图像采集系统基台、样品台架、定位样品台、图像控制器和数据处理及输出系统；其中，在图像采集系统基台上分别安装样品台架和图像采集系统调节架；在样品台架上安装定位样品台；在图像采集系统调节架上正对着定位样品台的位置安装摄像头，通过图像采集系统调节架实现摄像头的高度调节和水平调节；所述摄像头通过数据传输线连接至图像控制器，采集定位样品台的图像数据；所述图像控制器再将图像数据传输至数据处理及输出系统；所述数据处理及输出系统对采集到的定位样品台的图像进行局域坐标系标定、扫描电镜样品台坐标系原点位置校正以及样品位置坐标计算及输出。

2.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述图像采集系统调节架包括：高度调节系统和水平调节系统；其中，所述水平调节系统固定于高度调节系统上，由高度调节系统调节水平调节系统的高度位置；所述摄像头刚性连接在图像采集系统调节架的水平调节系统上，通过水平调节系统与高度调节系统之间的刚性连接，由高度调节系统来调节摄像头的高度，由水平调节系统来调节摄像头的水平度。

3.如权利要求2所述的定位装置，其特征在于，所述高度调节系统包括齿轮、齿条、滑动导轨、滑块、齿轮转轴、齿轮转轴固定轴承和调节旋钮；其中，所述齿轮固定在齿轮转轴上；所述齿轮转轴固定在两个齿轮转轴固定轴承上；两个齿轮转轴固定轴承分别固定在滑动导轨的两侧；齿轮转轴的两端连接调节旋钮；所述齿轮与齿条相互咬合配合，构成齿轮齿条传动机构；所述齿条固定在滑块上，滑块夹在滑动导轨中；所述滑动导轨固定在图像采集系统基台上；通过调节旋钮带动齿轮转动，同时，齿轮转动带动齿条进行直线运动，与齿条固定的滑块在滑动导轨中进行直线运动。

4.如权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述水平调节系统包括固定连杆、连接固定板、调平定位板、调平定位板固定夹、调节顶丝和调节弹簧；其中，所述连接固定板通过固定连杆与高度调节系统的滑块刚性连接；所述连接固定板上开有多个螺纹通孔，在螺纹通孔内分别装配调节顶丝；所述调平定位板上与连接固定板相对的表面设置多个调节顶丝限位槽，多个调节顶丝限位槽与多个调节顶丝相配合，实现调平定位板与连接固定板之间的限位装配；通过调节连接固定板上的调节顶丝实现调平定位板的方向调节；调平定位板上与调平定位板固定夹相对的表面开设有调节弹簧定位槽，在调节弹簧定位槽内装配调节弹簧；在调平定位板固定夹上与调平定位板上的调节弹簧定位槽相对应开设有调节弹簧定位槽；调平定位板上的调节弹簧定位槽与调平定位板固定夹上的调节弹簧定位槽通过调节弹簧相互配合，实现弹性连接；所述调平定位板固定夹刚性连接在连接固定板上。

5.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述图像采集系统基台包括：图像采集系统基台板、样品台架定位孔、定位固定螺纹孔和图像采集系统调节架固定夹；其中，所述图像采集系统基台板上开设有样品台架定位孔，所述样品台架通过样品台架定位孔固定在图像采集系统基台板上；所述图像采集系统基台板上还开设有定位固定螺纹孔，所述图像采集系统调节架通过图像采集系统调节架固定夹，固定在图像采集系统基台板上的定位固定螺纹孔上。

6.如权利要求5所述的定位装置，其特征在于，所述样品台架包括：多个定位支杆、样品台固定板和固定孔；其中，所述样品台固定板安装在多个定位支杆上；多个定位支杆与图像采集系统基台板上的样品台架定位孔相互配合，实现样品台架的定位；样品台固定板上开设有多个固定孔，定位样品台通过固定孔固定在样品台固定板上。

7.如权利要求6所述的定位装置，其特征在于，所述定位样品台包括：固定支杆、样品台板、十字定位线和两个定位孔；其中，所述固定支杆与样品台架中的样品台固定板上的开孔相互配合，所述样品台板通过固定支杆固定在样品台固定板上；所述样品台板上刻划有两条相互垂直的定位线，构成十字定位线，十字定位线的交叉点在样品台板的中心；在其中一条定位线上并且位于另一条定位线的两侧开设有两个定位孔，两个定位孔的中心间距离为预先设定的标准值。