[发明专利]一种微束能量色散的X射线衍射仪及其使用方法

权利要求书

1.一种微束能量色散的X射线衍射仪，其特征在于，所述衍射仪包括：

X射线管(1)，多毛细管微汇聚X光透镜(2)，衍射小孔(3)，样品(4)，二维样品台(5)，X射线探测器(6)，探测器支架(7)，电子学系统(8)，计算机(9)和控制系统(10)；其中，所述样品(4)置于二维样品台(5)上；所述X射线管(1)，多毛细管微汇聚X光透镜(2)和衍射小孔(3)位于二维样品台(5)的一侧斜上方，所述X射线管(1)，多毛细管微汇聚X光透镜(2)和衍射小孔(3)位于同一直线上并与二维样品台(5)夹角为30°；所述X射线探测器(6)位于二维样品台(5)的另一侧成一夹角α并安装在探测器支架(7)上；所述X射线探测器(6)依次与电子学系统(8)，计算机(9)电连接；所述控制系统(10)分别与计算机(9)，探测器支架(7)和二维样品台(5)电连接。

2.如权利要求1所述的一种微束能量色散的X射线衍射仪，其特征在于，所述X射线管(1)选用Oxford50微米，50瓦微的射线管。

3.如权利要求1所述的一种微束能量色散的X射线衍射仪，其特征在于，所述衍射小孔直径为2mm。

4.如权利要求1所述的一种微束能量色散的X射线衍射仪，其特征在于，所述探测器支架(7)为弧形结构，可以改变X射线探测器(6)与二维样品台(5)夹角α的大小，α范围为5°～145°。

5.如权利要求1所述的一种微束能量色散的X射线衍射仪，其特征在于，所述X射线经多毛细管微汇聚X光透镜(2)照射在样品(4)上的X射线束斑直径为0.6mm，样品(4)到X射线管(1)的距离为200mm，样品(4)到X射线探测器(6)的距离为30mm。

6.如权利要求1所述的一种微束能量色散的X射线衍射仪的使用方法，其特征在于，X射线管(1)发出X射线经由多毛细管微汇聚X光透镜(2)汇聚成微束X射线后通过直径为2mm的衍射小孔(3)照射在样品(4)上，从样品(4)衍射出来的X射线束收集到X射线探测器(6)中，信号经过电子学系统(8)处理后，显示并存储在计算机(9)中，计算机(9)根据用户需求控制主要由PLC、步进电机及驱动器构成的控制系统10，使样品台5二维移动，实现对样品的二维连续扫描；控制探测器支架7的位置移动，改变探测器与样品台夹角α的大小(α范围5°～145°)，实现对样品4不同角度的测量。