[发明专利]窄带吸收超导纳米线单光子探测器有效
申请号: | 201510593967.X | 申请日: | 2015-09-17 |
公开(公告)号: | CN106549098B | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 李浩;尤立星;王镇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L39/00 | 分类号: | H01L39/00;H01L39/02 |
代理公司: | 31219 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 窄带 吸收 导纳 米线 光子 探测器 | ||
【权利要求书】:
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