[发明专利]一种靶材溅射装置及其溅射靶材的方法

权利要求书

1.一种利用靶材溅射装置溅射靶材的方法，其特征在于，所述靶材溅射装置包括：背板和位于所述背板下面均匀分布的多个相互绝缘的电磁线圈单元；在预设周期内，多个所述电磁线圈单元产生与所述背板做相对运动的磁场，所述磁场正交于所述背板且密度相同；该方法包括：

在预设周期内的每个时刻：

仅对每间隔固定个数的所述电磁线圈单元加载预设交流电，且相邻两个时刻加载所述预设交流电的所述电磁线圈单元各不相同。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述预设周期内的不同时刻，相对于背板按照往返顺序依次加载所述预设交流电给所述电磁线圈单元。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在同一时刻加载在相邻两个每间隔固定个数的电磁线圈单元的预设交流电的方向相同或相反，且所述预设交流电的有效值相同。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在预设周期内，多个所述电磁线圈单元产生的磁场相对于所述背板做往返运动。

5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述电磁线圈单元包括铁芯，以及缠绕所述铁芯的线圈，且各所述电磁线圈单元中包括的线圈个数相同。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述电磁线圈单元中的线圈为矩形，且矩形的长边与所述背板相互平行，与所述背板的长边相互垂直。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述矩形的短边为50-500mm。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，相邻的两个所述电磁线圈单元之间的间隙为5-50mm。