[发明专利]防尘薄膜组件框架以及防尘薄膜组件

权利要求书

1.一种防尘薄膜组件框架，具有框状的防尘薄膜组件框架本体，其特征在于：从与所述防尘薄膜组件框架本体的防尘薄膜被绷紧设置的面的相反的面，沿着所述防尘薄膜组件框架本体的内面延伸的，具有所述防尘薄膜组件框架本体的幅度的5～30％的厚度的垂直伸出部以及从所述垂直伸出部的终端向着外侧以与防尘薄膜被绷紧设置的面相平行地延伸的厚度为0.3～1mm的水平伸出部，所述水平伸出部的光掩膜侧的大致整个面上设置有光掩模粘着剂层。

2.权利要求1所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于：所述防尘薄膜组件框架本体的内面、沿着该内面延伸的垂直伸出部以及所述水平伸出部的各面，分别与所述防尘薄膜组件框架本体的防尘薄膜被绷紧设置的面垂直。

3.权利要求1或者2所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于：所述水平伸出部和所述防尘薄膜组件框架本体的下侧的面的间隙为0.3～3mm的范围。

4.权利要求1所述防尘薄膜组件框架，其特征在于：所述的垂直伸出部以及所述水平伸出部，与防尘薄膜组件框架本体连成一体来构成。

5.一种防尘薄膜组件，其特征在于：具有防尘薄膜组件权利要求1～4的任一项所述的防尘薄膜组件框架，所述水平伸出部的大致整个面上，设置有光掩模粘着剂层。

6.权利要求5所述的防尘薄膜组件，其特征在于：所述光掩模粘着剂层的平面度为1～30μm。

7.权利要求5所述的防尘薄膜组件，其特征在于：所述水平伸出部和所述防尘薄膜组件框架本体之间的间隙中插入有加压装置，该加压装置对所述水平伸出部加压，使其贴附于光掩模。