[发明专利]一种显示面板及其制备方法、显示装置及其健康监测方法

说明书

本发明涉及到显示装置的技术领域，公开了一种显示面板及其制备方法、显示装置及其健康监测方法。该显示面板包括衬底基板以及设置在所述衬底基板上的声波传感器。在上述技术方案中，通过将声波传感器的结构直接形成在衬底基板上，使得在制备显示面板其他结构的同时即可形成声波传感器，提高了显示装置的制备效率，同时，降低了形成的显示装置的厚度，便于显示装置的薄型化发展。

技术领域

本发明涉及到显示装置的技术领域，尤其涉及到一种显示面板及其制备方法、显示装置及其健康监测方法。

背景技术

现有的显示器件、如手机、iPAD等，其语音执行功能都是通过在主板上的麦克风芯片来实现，并且麦克风采用MEMS工艺制作完成，使得整个显示器件的生产流程比较复杂，影响了显示器件的生产效率。如图1所示，图1示出了现有技术中的声波传感器的结构示意图。其由上电极5、下电极1、硅背板2、驻极体3、上麦拉敏感膜片6、下麦拉敏感膜片4、声孔7等构成。其中，下电极1制备在硅背板2上，上下麦拉敏感膜片(4、6)设置在上电极5的两侧，驻极体3将上电极5及下电极1间隔开，声孔7设置在驻极体3、下电极1及硅背板2上，现有集中的声波传感器需要安装在主板上，影响显示装置的生产效率，且不便于显示装置的薄型化发展。

发明内容

本发明提供了一种显示面板及其制备方法、显示装置及其健康监测方法，用以提高显示装置的生产效率，同时便于显示装置的薄型化发展。

本发明提供了一种显示面板，该显示面板包括衬底基板以及设置在所述衬底基板上的声波传感器。

在上述技术方案中，通过将声波传感器的结构直接形成在衬底基板上，使得在制备显示面板其他结构的同时即可形成声波传感器，从而简化了制备显示面板的工艺，提高了显示装置的制备效率，同时，声波传感器直接形成在衬底基板上，降低了形成的显示装置的厚度，便于显示装置的薄型化发展。

优选的，所述声波传感器包括：

设置在所述衬底基板上的第一电极层；

设置在所述第一电极层上的硅背板；

设置在所述硅背板上的支撑层；

设置在所述支撑层上的第一膜层；

设置在所述第一膜层上的第二电极层；

设置在所述第二电极层上的第二膜层；

且所述第一膜层及所述第二膜层为麦拉膜层，所述第一电极层、所述硅背板、支撑层及所述第一膜层上设置有连通的声孔。

优选的，所述显示面板还包括设置在衬底基板上的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括栅极层、栅极绝缘层、多晶硅有源层、源漏电极层，所述薄膜晶体管位于衬底基板上的遮挡金属层上，且通过绝缘层与所述遮挡金属层电隔离；其中，

所述声波传感器的第一电极层与所述遮挡金属层同层设置；

所述声波传感器的硅背板与所述薄膜晶体管中的多晶硅有源层同层设置；

所述声波传感器的支撑层与所述薄膜晶体管的栅极绝缘层同层设置；

所述声波传感器的第二电极层与所述薄膜晶体管的栅极层同层设置。

优选的，所述支撑层的材料为二氧化硅或氮化硅。降低了形成的显示装置的厚度，便于显示装置的薄型化发展。

优选的，所述第一膜层和第二膜层均包括第一氮化硅层，设置在所述第一氮化硅层上的多晶硅层，以及设置在所述多晶硅层上的第二氮化硅层。

优选的，所述衬底基板、所述第一电极层、所述硅背板、所述支撑层、所述第一膜层和第二膜层均在同一位置设置通孔，且所述位于所述衬底基板、所述第一电极层、所述硅背板、所述支撑层、所述第一膜层和第二膜层的通孔连通形成声孔。