[发明专利]一种用于改善狭缝式涂布模具表面润湿性能的镀膜方法有效
| 申请号： | 201510599140.X | 申请日： | 2015-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN105177503B | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 谢承智;欧阳俊波;钱磊 | 申请（专利权）人： | 苏州柯利达集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 改善 狭缝 式涂布 模具 表面 润湿 性能 镀膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于改善狭缝式涂布模具表面润湿性能的镀膜方法,其特征在于步骤如下：
§A狭缝式涂布模具的清洗
先把所述模具用纯水清洗,再采用常规的洗涤剂放在超声波清洗机里浸泡,然后用丙酮和异丙醇清洗再烘干；
所述模具材料选自玻璃、金属材料、聚合物中的至少一种；
§B制备可改变表面能的薄膜
采用常规的高真空气相法工艺在所述模具表面上制备所述薄膜，厚度为0.1-2μm；
所述高真空气相法工艺选自热蒸发、磁控溅射、分子束外延中的至少一种，所述薄膜材料选自氧族化金属、金属、硅中的至少一种；
§C对所述薄膜高温退火处理
将沉积有所述薄膜的所述模具放置于可分段程序控温的高温炉中，真空密封，然后均匀的升温，使得所述模具所在区域温度控制在200-1000℃，依据预制薄膜的厚度，进行5-60min的处理。
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