[发明专利]承载台、承载装置和激光切割设备

权利要求书

1.一种承载台，包括承载板，该承载板上形成有多个贯穿该承载板的第一通孔，所述第一通孔用于与抽气装置的抽气口连通，其特征在于，所述承载板具有承载面，所述承载台还包括设置在所述承载面上的多孔膜。

2.根据权利要求1所述的承载台，其特征在于，所述多孔膜的材料包括超高分子量聚乙烯。

3.根据权利要求1或2所述的承载台，其特征在于，所述承载台还包括设置在所述多孔膜上的盖板，所述盖板、多孔膜和所述承载板固定连接，所述盖板上形成有多个贯穿该盖板的第二通孔，所述盖板的背离所述承载板的表面的平整度为±100μm。

4.根据权利要求3所述的承载台，其特征在于，所述盖板的朝向所述承载板的表面上设置有多个凸起，所述承载板上设置有与所述凸起相对应的凹槽；或者，所述承载板的朝向所述盖板的表面上设置有多个凸起，所述盖板上设置有与所述凸起相对应的凹槽；

所述多孔膜上形成有与所述凸起相对应的第三通孔，所述凸起穿过所述第三通孔伸入相应的凹槽内。

5.根据权利要求3所述的承载台，其特征在于，所述盖板为玻璃盖板，所述盖板的背离所述承载板的表面为磨砂表面。

6.根据权利要求5所述的承载台，其特征在于，所述磨砂表面的粗糙度在Ra25～Ra100之间。

7.根据权利要求1或2所述的承载台，其特征在于，所述承载板的侧面设置有导向轮。

8.根据权利要求3所述的承载台，其特征在于，所述承载台还包括设置在所述承载板上的限位框，所述限位框的顶端凸出于所述盖板的上表面，所述限位框用于限定承载基板的区域。

9.根据权利要求8所述的承载台，其特征在于，所述限位框为设置在所述承载板边缘的三个挡板形成的半封闭框架。

10.一种承载装置，其特征在于，包括吸附基台和权利要求1至9中任意一项所述的承载台，所述吸附基台内形成有空腔，所述吸附基台还包括出气口和多个吸附孔，所述吸附孔用于将所述承载台上的多个第一通孔与所述空腔连通，所述出气口用于将所述空腔与所述抽气装置的抽气口连通。

11.一种激光切割设备，其特征在于，包括权利要求10所述的承载装置。

12.根据权利要求11所述的激光切割设备，其特征在于，所述承载板的侧面设置有导向轮，所述激光切割设备还包括导向槽，当所述承载台位于所述导向槽内时，所述导向轮能够沿所述导向槽滚动。