[发明专利]可调高度差的显微镜组合载物台

说明书

技术领域

本发明属于一种显微镜载物台，具体涉及一种可调高度差的显微镜组合载物台。

背景技术

光学显微镜、扫描电子显微镜是失效分析及检测领域常用的实验设备。受成像原理所限，显微镜很难同时检测到不同高度的多件样品。尤其是在样品观察面高度差别很大的情况下，在高倍观察下方样品时，显微镜镜头容易与上方样品发生磕碰甚至损坏。为避免这种情况的发生，必须要对样品按照高度进行分类，相近高度的样品编为一组，高度差别较大的样品组只能分批观察。常规扫描电子显微镜的样品室需要在真空条件下运行，在更换样品组时需要重复破真空、抽真空的过程，由于该过程时间相对较长，大大降低了检测效率。如何同时检测观察面高度差别较大的多件样品是该技术领域亟待解决的问题。

发明内容

本发明是为了克服现有技术中存在的缺点而提出的，其目的是提供一种可调高度差的显微镜组合载物台。

本发明的技术方案是：

一种可调高度差的显微镜组合载物台，包括套筒，在套筒内安装固定样品台和移动样品台，套筒和固定样品台通过螺钉连接，套筒和移动样品台通过螺纹连接；

所述套筒内壁形成内螺纹，底部形成沉孔，内底面向上凸起形成内凸台，内凸台中部形成凹槽；

所述固定样品台由半圆柱型上部和圆柱型下部形成，下部向下形成凸台，凸台中间形成安装螺孔，上部形成多个固定台样品槽；

所述移动样品台呈圆柱型，外圆周面形成外螺纹，上端形成凸缘，中间形成异形孔，异形孔纵截面呈反L形，上段为半圆孔，下段为圆孔，移动样品台未形成异形孔的位置形成多个移动台样品槽；

所述套筒、固定样品台、移动样品台和螺钉同轴。

所述半圆孔的孔径及孔深与固定样品台的上部尺寸相配合，圆孔的孔径及孔深与固定样品台的下部尺寸相配合。

所述固定样品台的下部外径与内凸台外径相同。

所述固定台样品槽和移动台样品槽的横截面形状是圆形或者椭圆形或者多边形的任意一种 。

所述凸台的形状是圆台型或者锥台型或者半球型或者球冠型的任意一种。

本发明的有益效果是：

本发明结构简单，操作方便，可以同时检测高度差较大的多件样品，避免了因样品高度差带来的反复换装样品、磕碰显微镜镜头等问题，有效地增加了单次检测的样品数量， 提高了检测效率。

附图说明

图1是本发明的立体结构示意图；

图2是本发明的俯视图；

图3是图2中沿A-A向的剖面图；

图4是本发明中套筒的剖面图；

图5是本发明中套筒的俯视图；

图6是本发明中固定样品台的俯视图；

图7是图6中沿B-B向的剖面图；

图8是本发明中移动样品台的俯视图；

图9是图8中沿C-C向的剖面图。

其中：

1套筒2 固定样品台

3移动样品台4 螺钉

11 凹槽12沉孔

13 内凸台21凸台

22 安装螺孔23上部

24 下部25固定台样品槽

31 凸缘32异形孔

33 移动台样品槽321 半圆孔

322圆孔。

具体实施方式

下面结合说明书附图及实施例对本发明可调高度差的显微镜组合载物台进行详细说明：

如图1~3所示，一种可调高度差的显微镜组合载物台，包括套筒1，在套筒1内安装固定样品台2和移动样品台3，套筒1和固定样品台2通过螺钉4连接，套筒1和移动样品台3通过螺纹连接；所述套筒1、固定样品台2、移动样品台3和螺钉4同轴。

如图4、5所示，所述套筒1内壁形成内螺纹，底部形成沉孔12，内底面向上凸起形成内凸台13，内凸台13中部形成凹槽11，沉孔12与凹槽11连通。

如图6、7所示，所述固定样品台2由半圆柱型上部23和圆柱型下部24形成，下部24向下形成凸台21，凸台21中间形成安装螺孔22，上部形成多个固定台样品槽25，本实施例为6个圆柱型样品槽；

如图8、9所示，所述移动样品台3呈圆柱型，外圆周面形成外螺纹，上端形成环形凸缘31，中间形成异形孔32，异形孔32纵截面呈反L形，上段为半圆孔321，下段为圆孔322，移动样品台3未形成异形孔32的位置形成多个移动台样品槽33，本实施例为7个圆柱型样品槽；