[发明专利]调节等离子体刻蚀腔内器件温度的装置及其温度调节方法有效
| 申请号： | 201510602262.X | 申请日： | 2015-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN106548917B | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 雷仲礼;浦远;彭帆 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张妍;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 调节 等离子体 刻蚀 器件 温度 装置 及其 方法 | ||
【权利要求书】：
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