[发明专利]一种保持质谱内部真空条件下更换离子源的质谱仪有效
申请号: | 201510605489.X | 申请日: | 2015-09-21 |
公开(公告)号: | CN105047521B | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 张振华;胡晓光;魏文 | 申请(专利权)人: | 北京凯尔科技发展有限公司 |
主分类号: | H01J49/26 | 分类号: | H01J49/26 |
代理公司: | 北京汇信合知识产权代理有限公司11335 | 代理人: | 王杰 |
地址: | 100085 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 保持 内部 真空 条件下 更换 离子源 质谱仪 | ||
1.一种保持质谱内部真空条件下更换离子源的质谱仪,其特征在于,包括电离室、质谱发生室和真空封堵接口组件,所述真空封堵接口组件为两端开口的管道结构;电离室的离子出口通道、真空封堵接口组件和质谱发生室的离子进入通道之间密封串接;所述真空封堵接口组件的管道内设置隔板,隔板的中部开有贯通的封堵口;
所述真空封堵接口组件还包括封堵板和驱动组件,所述封堵板设置在靠近封堵口的电离室内;所述驱动组件驱动所述封堵板移动至所述封堵口处,在负压下封堵所述封堵口;所述驱动组件包括:纵向调节杆和导向组件;所述纵向调节杆一端伸入到所述管道内,并在该端部连接所述导向组件;所述导向组件,用于引导所述封堵板在垂直于所述纵向调节杆的方向上移动至所述封堵口处;
所述真空封堵接口组件还包括:复位弹簧,所述复位弹簧的两端分别与封堵板、纵向调节杆固定连接。
2.如权利要求1所述的保持质谱内部真空条件下更换离子源的质谱仪,其特征在于,所述纵向调节杆伸入到所述管道内的一端设有第二通孔;
所述导向组件包括螺杆,螺杆垂直于纵向调节杆,自第二通孔穿过,安装在纵向调节杆上;
所述封堵板固定在螺杆的一端。
3.如权利要求2所述的保持质谱内部真空条件下更换离子源的质谱仪,其特征在于,所述复位弹簧套在封堵板与纵向调节杆之间的螺杆上。
4.如权利要求3所述的保持质谱内部真空条件下更换离子源的质谱仪,其特征在于,所述封堵板上设有与封堵口紧密贴合的圆台形结构。
5.如权利要求1所述的保持质谱内部真空条件下更换离子源的质谱仪,其特征在于,所述导向组件包括曲柄,所述纵向调节杆伸入到所述管道内的一端固定所述曲柄,所述曲柄的活动端通过连接杆固定连接所述封堵板。
6.如权利要求1-5任一项所述的保持质谱内部真空条件下更换离子源的质谱仪,其特征在于,所述真空封堵接口组件还包括压板,所述管道的上方开有第一通孔,所述压板将所述第一通孔密封,所述压板的中部开有第三通孔,供所述驱动组件密封穿过。
7.如权利要求6所述的保持质谱内部真空条件下更换离子源的质谱仪,其特征在于,所述真空封堵接口组件还包括限位组件,所述限位组件固定在所述压板上;
所述限位组件包括限位螺钉和调节限位块;所述调节限位块固定在第三通孔的外侧,限位螺钉穿过限位调节块与纵向调节杆上设有的限位孔相配合。
8.如权利要求6所述的保持质谱内部真空条件下更换离子源的质谱仪,其特征在于,所述压板包括上压板和下压板;所述上压板和下压板上下堆叠,通过螺栓固定在管道外壁上。
9.如权利要求8所述的保持质谱内部真空条件下更换离子源的质谱仪,其特征在于,所述上压板与下压板之间设有至少2个密封圈,其中1个密封圈紧贴纵向调节杆设置。
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