[发明专利]一种真空压力传感器在审
申请号: | 201510605643.3 | 申请日: | 2015-09-22 |
公开(公告)号: | CN105157910A | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
发明(设计)人: | 陈学兵;王光辉 | 申请(专利权)人: | 苏州普京真空技术有限公司 |
主分类号: | G01L19/04 | 分类号: | G01L19/04 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 徐萍 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 压力传感器 | ||
1.一种真空压力传感器,其特征在于,包括壳体以及设置在壳体内的滤清器、过滤器、压力换转器以及真空室,所述的压力转换器设置在壳体内的中心位置,所述的真空室设置在压力转换器的上端,所述的滤清器设置在压力转换器的上端并位于真空室内,所述的过滤器设置在压力转换器的一侧边并与压力换转器相连接。
2.根据权利要求1所述的真空压力传感器,其特征在于,所述的真空室的真空度为0.02-0.06MPa。
3.根据权利要求1所述的真空压力传感器,其特征在于,所述的真空压力传感器还包括硅片,所述的硅片设置在壳体内壁上并位于真空室的上方。
4.根据权利要求1所述的真空压力传感器,其特征在于,所述的真空压力传感器还包括电气连接端,所述的电气连接端设置在壳体的底部并与压力换转器相连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州普京真空技术有限公司,未经苏州普京真空技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510605643.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:双力矩线圈互易消差力矩校准方法及装置
- 下一篇:针管拔出力在线检测装置