[发明专利]磁头堆叠组件的制造装置有效

专利信息
申请号: 201510607134.4 申请日: 2015-09-22
公开(公告)号: CN105469811B 公开(公告)日: 2018-06-19
发明(设计)人: 水野亨;中山均;铃木英利;川岛崇 申请(专利权)人: TDK株式会社
主分类号: G11B5/48 分类号: G11B5/48;G11B5/105
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 薛晓奇;段承恩
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 悬架 磁头堆叠组件 光轴变换 基准标记 制造装置 滑块 搭载位置 相对移动 相机拍摄 中心面 光轴 相向 平行 图像 拍摄 检测 配置
【说明书】:

本发明提供能够将滑块安装到固定于E块的悬架上的磁头堆叠组件。在磁头堆叠组件的制造装置中配置有能够执行下述工序的单元:使悬架和光轴变换器在与相向的一对悬架的中心面平行的方向上相对移动,而使光轴变换器进入一对悬架之间的工序;通过拍摄光轴被光轴变换器弯曲的相机拍摄两个基准标记的工序;和通过两个基准标记的图像来检测滑块的搭载位置的工序。

技术领域

本发明涉及磁头堆叠组件的制造装置。更详细地说,涉及具备多个对硬盘等记录介质进行磁记录的写入及读出的被称为磁头的装置的磁头堆叠组件(Head StackAssembly)的制造装置。

背景技术

在现今的高记录密度化的所谓硬盘装置中,在硬盘的记录密度的提高和伴随硬盘搭载枚数的增加而进一步薄层化的同时,用于对该硬盘进行记录的写入等的磁头也进一步小型化。另外,如专利文献1所例示,通过在单一硬盘装置内配置多个硬盘而实现存储容量的增大化的结构也得到普及。在该情况下,采用多个磁头一体化了的磁头堆叠组件(以下称为HSA),其能够相对于该多个硬盘的记录面分别配置磁头。

磁头本身包括被称为滑块的部件,该滑块中内置有电磁变换元件。连接有布线等的该滑块由被称为悬架的具有弹性的薄板状部件的前端部支撑(参照专利文献2)。该悬架还由金属制的被称为承重梁的部件支撑,这些悬架、承重梁等,包括滑块在内构成磁头折片组合(以下称为HGA,Head Gimbal Assembly)。HGA在与滑块固定侧相反的端部连接到被称为E块的刚体,该刚体围绕与HGA延伸方向大致垂直的轴转动。以往,通过制造该HGA单体,然后相对于E块安装该HGA单体,由此将磁记录读取等用的上述HSA组装为一体部件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2007-164968号公报

专利文献2:日本特开平11-031369号公报

专利文献3:日本特开2005-158198号公报

发明内容

如专利文献2所示,以前,在将完成了的HGA组装于E块而成为HSA后,进行一体化的各个磁头的特性检查。但是,专利文献3中也指出,由于HGA经历了各种工序,在该过程中滑块很可能发生电或者物理方面的破损。另外,对于在HSA完成后发现缺陷的HGA,需要在从E块将其取下后在该HGA的位置组装正常的HGA,但是,当然,该操作也有可能使新HGA或者组装完毕的HGA受到损伤等。

专利文献3中,鉴于以上的问题,提出了对组装于E块后的悬架安装滑块的工序。但是,实际上在对悬架安装滑块的工序中,必须对以例如1mm以下的间隔相向的悬架分别安装滑块。在这里,在对悬架安装滑块时,要求参照设置在悬架上的定位用标记等,准确控制各个位置关系(参照专利文献2)。但是,实际上,由于悬架彼此的间隔狭小,不容易进行合适的位置控制。

本发明是鉴于以上的状况而提出的发明,目的是提供能够在对隔着微小间隔而配置的多个悬架进行合适的定位的同时进行滑块的搭载的磁头堆叠组件的制造装置。

为了解决上述问题,本发明所涉及的磁头堆叠组件制造装置,在分别具有至少两个基准点的相向配置的一对悬架的相对面分别搭载滑块,其特征在于,具备:卡盘,其保持所述滑块,能够将所述滑块载置于所述悬架的滑块搭载面;光轴变换器,其具有能够进入相向的所述一对悬架之间的大小;相机,其拍摄光轴被所述光轴变换器弯曲,能够拍摄所述两个基准点中的至少一个;以及相对移动机构,其能够使所述悬架和所述光轴变换器在与相向的所述一对悬架的中心面平行的方向上相对移动。

另外,上述磁头堆叠组件制造装置中,优选,具有能够拍摄相向的所述一对悬架的间隙而检测所述中心面的侧面相机,所述相对移动机构能够使所述悬架和所述光轴变换器在垂直于所述中心面的方向上相对移动。

另外,优选,所述光轴变换器和所述相机作为一体,通过所述相对移动机构而进行所述相对移动。

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