[发明专利]一种直线电机、运动台及光刻装置有效
| 申请号： | 201510607738.9 | 申请日： | 2015-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN106549550B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 张霖;胡兵;季汉川 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | H02K41/02 | 分类号： | H02K41/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 直线 电机 运动 光刻 装置 | ||
【说明书】：
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