[发明专利]一种激光光斑尺寸的测量装置和方法有效
| 申请号： | 201510607985.9 | 申请日： | 2015-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN105203027A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 郭渭荣;王宝华;郭志婕;徐丹;杨朝栋 | 申请（专利权）人： | 北京凯普林光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01J11/00 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝;何立春 |
| 地址： | 100070 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 光斑 尺寸 测量 装置 方法 | ||
1.一种激光光斑尺寸的测量装置，其特征在于，沿待测激光的传输方向，该装置依次包括：第一透镜、第二透镜和电荷耦合元件CCD图像传感器；其中，所述第一透镜、所述第二透镜和所述CCD图像传感器共轴，所述第一透镜的焦距为f1，所述第二透镜的焦距为f2；
对于待测激光在传输方向上的每个位置，当测量该位置处的光斑尺寸时，所述第一透镜与该位置在光轴上的距离为f1，所述第二透镜与所述CCD图像传感器在光轴上的距离为f2。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置进一步包括：光强衰减元件；
所述光强衰减元件与所述第一透镜、所述第二透镜以及所述CCD图像传感器共轴；
所述光强衰减元件位于所述第一透镜的光入射侧，和/或，所述光强衰减元件位于所述第二透镜和所述CCD图像传感器之间。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一透镜与所述第二透镜在光轴上的距离为f1+f2。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，
所述第一透镜包括一个或多个透镜；
所述第二透镜包括一个或多个透镜。
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，
所述待测激光为高斯光束；
所述第一透镜和所述第二透镜为薄透镜。
6.一种激光光斑尺寸的测量方法，其特征在于，该方法包括：
沿待测激光的传输方向，依次放置焦距为f1的第一透镜、焦距为f2的第二透镜和电荷耦合元件CCD图像传感器，令所述第一透镜、所述第二透镜和所述CCD图像传感器共轴；
对于待测激光在传输方向上的每个位置，当测量该位置处的光斑尺寸时，令所述第一透镜与该位置在光轴上的距离为f1，所述第二透镜与所述CCD图像传感器在光轴上的距离为f2；
将所述CCD所拍摄的光斑图像的尺寸乘以f1/f2，得到待测激光在传输方向上的被测位置处的光斑尺寸。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，该方法进一步包括：
将光强衰减元件放置于所述第一透镜的光入射侧，和/或，将光强衰减元件放置于所述第二透镜和所述CCD图像传感器之间，令所述光强衰减元件与所述第一透镜、所述第二透镜以及所述CCD图像传感器共轴。
8.如权利要求6所述的方法，其特征在于，该方法包括：令所述第一透镜与所述第二透镜在光轴上的距离为f1+f2。
9.如权利要求6所述的方法，其特征在于，
所述第一透镜包括一个或多个透镜；
所述第二透镜包括一个或多个透镜。
10.如权利要求6所述的方法，其特征在于，
所述待测激光为高斯光束；
所述第一透镜和所述第二透镜为薄透镜。
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