[发明专利]一种掩膜板的固定组件

说明书

本发明涉及一种掩膜板的固定组件，该固定组件包括：带有蒸镀区域的框架，所述框架用于固定覆盖所述蒸镀区域上的掩膜板；可拆卸式设在所述框架上的且穿过所述蒸镀区域以用于支撑所述掩膜板的支撑条。根据本发明的掩膜板的固定组件能够缩减掩膜板的变形程度，促使蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状趋近一致。

技术领域

本发明涉及一种有机发光显示器(OLED，Organic Light Emitting Display)的制程中不可或缺的辅助组件，具体涉及一种掩膜板的固定组件。

背景技术

在OLED的制程中，有机薄膜的形成需要使用真空蒸镀技术。具体地讲，在真空蒸镀技术中，需要依赖掩膜板阻挡一部分蒸汽流(成膜材料分子或成膜材料分子原子)，使另一部分蒸汽流透过掩膜板的蒸镀孔入射到待镀物品(例如基板)的表面，从而在待镀物品的表面上形成特定图形的固态薄膜。

掩膜板的厚度(通常为30μm-100μm)较薄，蒸镀过程容易产生变形，因此需要固定框架支撑固定。虽然已有的固定框架能够牢固地固定掩膜板，但是掩膜板的位于固定框架的蒸镀区域(即框架的中空区域)的部分还可产生变形，导致蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状存在差异，尤其是大尺寸的OLED产生的这种情况更加明显。

发明内容

为了解决上述全部或部分问题，本发明提供一种掩膜板的固定组件，该固定组件能够缩减掩膜板的变形程度，促使蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状趋近一致。

本发明提供了一种掩膜板的固定组件，该固定组件包括：带有中空的蒸镀区域的框架，所述框架用于固定覆盖在所述蒸镀区域上的掩膜板；可拆卸式设在所述框架上的且穿过所述蒸镀区域以用于支撑所述掩膜板的支撑条。

进一步地，所述支撑条构造成不遮挡所述掩膜板的蒸镀孔。

进一步地，所述框架为由一对横梁和一对纵梁组成的矩形框架，在两个所述纵梁和/或两个纵梁均设有用于容纳所述支撑条的端部的定位槽组，位于所述纵梁上的定位槽组由沿着纵向间隔开的多个定位槽组成，并且两个所述纵梁上的定位槽组关于所述蒸镀区域对称，位于横梁上的定位槽组由沿着横向间隔开的多个定位槽组成，并且两个所述横梁上的定位槽组关于所述蒸镀区域对称。

进一步地，所述支撑条具有第一拓宽部，所述定位槽具有能够容纳所述第一拓宽部并阻止所述支撑条沿着深度方向脱离的第二拓宽部。

进一步地，所述支撑条的横街面为梯形，所述定位槽的横截面与所述支撑条的横街面相匹配的梯形。

进一步地，在所述框架上设有能够在所述支撑条与掩膜板接触时把所述支撑条固定于所述框架的固定件。

进一步地，所述固定件包括设在所述框架上的且穿过所述定位槽的槽底的内螺纹孔，以及能够与所述内螺纹孔相配合的螺栓。

进一步地，所述支撑条的用于支撑所述掩膜板的表面与所述框架的用于支撑所述掩膜板的表面相齐平。

进一步地，所述支撑条和框架的材料均为不锈钢或镍铁合金材料。

进一步地，所述掩膜板通过激光焊接方式固定在所述框架的侧面上。

根据本发明的掩膜板的固定组件能够通过框架和穿过蒸镀区域的支撑条来共同支撑掩膜板，由此可大幅度地缩减掩膜板的变形程度，促使蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状近一致。

根据本发明的掩膜板的固定组件的结构简单，制造简单，使用安全可靠，便于实施推广应用。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

图1显示了根据本发明实施例的掩膜板的固定组件和掩膜板；