[发明专利]用于基板涂覆的溅射装置有效
| 申请号： | 201510612189.4 | 申请日： | 2015-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN105986231B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | A·许布纳;A·N·潘考;B·P·廷卡姆 | 申请（专利权）人： | 索莱尔有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东 |
| 地址： | 德国克塞*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 基板涂覆 溅射 装置 | ||
【权利要求书】：
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