[发明专利]生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯

权利要求书

1.用于生产钛掺杂玻璃的毛坯的方法，所述玻璃具有高硅酸含量和在400 nm-700 nm波长范围内在10 mm样品厚度下至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，并且具有用于EUV平版印刷术的给定的氟含量，所述方法包括以下步骤：

(a) 通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2-SiO2烟灰体，

(b) 氟化所述烟灰体以形成氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体，

(c) 在含水蒸气气氛中处理所述氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，

(d) 使所述经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂玻璃的毛坯，所述玻璃具有高硅酸含量和10 wt. ppm-100 wt. ppm的平均OH含量及2,500 wt. ppm-10,000 wt. ppm的平均氟含量，

其中在玻璃化后，所述毛坯在还原气氛中经过处理，其中Ti3+/Ti4+比率提高，同时400nm-700 nm波长范围内的内部透射率降低，并且其中随后所述毛坯在600℃-1000℃温度下经过退火处理以取消内部透射率的降低。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于，根据方法步骤(c)的使用水蒸气的调理处理在100℃-1000℃的处理温度下进行，并持续1-10小时。

3.根据权利要求1的方法，其特征在于，根据方法步骤(c)的使用水蒸气的调理处理在500℃-1000℃的处理温度下进行，并持续1-10小时。

4.根据权利要求1的方法，其特征在于，在根据方法步骤(c)的使用水蒸气的调理处理中，惰性气体中水蒸气的量为0.05体积%-50体积%。

5.根据权利要求1的方法，其特征在于，在根据方法步骤(c)的使用水蒸气的调理处理中，惰性气体中水蒸气的量为1体积%-20体积%。

6.根据权利要求1的方法，其特征在于，在根据方法步骤(b)的氟化之前进行干燥，以设定小于10 wt. ppm的平均OH含量。

7.根据权利要求1的方法，其特征在于，根据方法步骤(b)的氟化在含氟气氛中进行，所述含氟气氛含有2体积%-100体积%的SiF4。

8.根据权利要求1的方法，其特征在于，根据方法步骤(b)的氟化在700℃至不高于1000℃的温度下进行。

9.由钛掺杂玻璃组成的毛坯，所述玻璃具有用于EUV平版印刷术的高硅酸含量，在400nm-700 nm波长范围内在10 mm样品厚度下的至少60%的内部透射率，所述毛坯根据以下方法步骤生产：

(a) 通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2-SiO2烟灰体，

(b) 氟化所述烟灰体以形成氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体，

(c) 在含水蒸气气氛中处理所述氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和

(d) 使所述经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂玻璃的毛坯，所述玻璃具有高硅酸含量，2,500 wt. ppm-10,000 wt. ppm的平均氟含量，10 wt. ppm-100 wt. ppm的平均OH含量和6 wt.%-12 wt.%的平均TiO2含量，其中钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，并且Ti3+/Ti4+比率调节至≤2×10-4的值，

其中在玻璃化后，所述毛坯在还原气氛中经过处理，其中Ti3+/Ti4+比率提高，同时400nm-700 nm波长范围内的内部透射率降低，并且其中随后所述毛坯在600℃-1000℃温度下经过退火处理以取消内部透射率的降低。