[发明专利]一种直线式飞行时间质谱仪

权利要求书

1.一种直线式飞行时间质谱仪，其特征在于，所述直线式飞行时间质谱仪包括离子源电源组（1），气样进入装置（2），电子轰击离子源（3），前法兰（4），不锈钢真空腔室（5），引出电源（6），聚焦电源（7），离子出口狭缝（8），三膜片单透镜（9），第一栅网（10），纳秒脉冲离子开关（11），第二栅网（12），高真空规管（13），法拉第杯抑制电极（14），法拉第杯内筒（15），法拉第杯外筒（16），后法兰（17），抑制电源（18），第一分子泵（19），干泵（20），高压纳秒脉冲电源（21），第一真空阀（22），低真空规管（23），第二真空阀（24），闸板阀（25），第二分子泵（26）；

其连接关系是：离子源电源组（1）与电子轰击离子源（3）连接；气样进入装置（2）通过前法兰（4）与不锈钢真空腔室（5）连接；引出电源（6）与电子轰击离子源（3）的引出电极连接；聚焦电源（7）与电子轰击离子源（3）的聚焦电极连接；离子出口狭缝（8）与不锈钢真空腔室（5）连接；三膜片单透镜（9）通过螺钉与不锈钢真空腔室（5）连接；不锈钢真空腔室（5）外壳与地连接；第一栅网（10）、第二栅网（12）设置在不锈钢真空腔室（5）内，通过螺钉与不锈钢真空腔室（5）连接并导通；第一栅网（10）和第二栅网（12）设置不锈钢真空腔室（5）内，两者都与地连接；高真空规管（13）与不锈钢真空腔室（5）连接；纳秒脉冲离子开关（11）设置在不锈钢真空腔室（5）内，纳秒脉冲离子开关（11）由两组互相绝缘的钼板组成，一组钼板与地连接，另一组钼板与高压纳秒脉冲电源（23）连接；法拉第杯离子检测器由法拉第杯抑制电极（14）、法拉第杯内筒（15）、法拉第杯外筒（16）和抑制电源（18）组成；法拉第杯抑制电极（16）制成网状，固定在不锈钢真空腔室（5）内，与抑制电源（18）连接；法拉第杯外筒（16）通过螺钉固定在不锈钢真空腔（5）内，与地连接；法拉第杯内筒（15）由绝缘材料固定在法拉第杯外筒（16）内壁，法拉第杯内筒（15）接收离子束，并通过测量电极与示波器等测量设备连接；

第一分子泵（19）和第二分子泵（26）分别通过一个真空角阀与不锈钢真空腔（5）连接；后法兰（17）与不锈钢真空腔（5）连接；干泵（20）通过不锈钢管道、第一真空阀（22）与第一分子泵（19）和第二分子泵（26）连接；干泵（20）通过不锈钢管道、第二真空阀（24）与不锈钢真空腔（5）室连接；干泵（20）通过不锈钢管道与低真空规管（23）连接；闸板阀（25）通过连接法兰与不锈钢真空腔（5）连接。